中古 DNS / DAINIPPON SD-80BW-AVP #9235495 を販売中

DNS / DAINIPPON SD-80BW-AVP
ID: 9235495
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1998
Developer, 8" 1998 vintage.
DNS/DAINIPPON SD-80BW-AVPは、フォトリソグラフィのプロセスと機能の広い範囲のために設計された先進的なフォトレジスト機器です。これは、利用可能な最先端の技術を使用して、非常に洗練されたシステムです。これは、高速半導体製造のニーズを満たすように設計されており、従来のフォトレジストシステムよりも多くの利点があります。DNS SD-80BW-AVPには、高精度エンコーダによる3軸アライメントと、フォトレジストの望ましくない光への反応を最小限に抑えるオゾン発生器が搭載されています。このユニットは、シングルウエハ、自動モジュールからハイエンドの電子製造ラインに直接統合するように設計されています。ダイニッポンSD-80BW-AVPは、ウェーハ上に指向性と非指向性の両方の均一膜を提供することができるため、マスキングに最適です。その均一なフィルム機能により、マシンは正確なライン幅を提供することができ、また、個々のマスクのサイズと形状の微調整を可能にします。SD-80BW-AVP機能により、接触モードで5 mJ/cm2〜10 mJ/cm2の感度が向上しました。これにより、ウエハーの裏側やエンボスエリアなど、以前は露出していなかった領域を露出することができます。このツールは非常に高速なパターン露光時間を誇り、最大10 umの解像度でウェーハを処理できます。ピンホールフリー機能とアルミニウム阻害剤により、劣化を最小限に抑え、露光緯度を広げた画像を作成することができ、生産される製品の歩留まり率が高くなります。このアセットには反射防止層があり、基盤となる金属層からの妨害が少ないレジスト層のイメージングが改善され、生産された製品の全体的な歩留まり率が向上します。また、様々なフォトレジストと連携することができ、特定のプロセスに合わせて簡単に調整することができます。DNS/DAINIPPON SD-80BW-AVPは、信頼性が高く、堅牢で信頼性の高いモデルで、取り扱いと使用が容易なコンポーネントで構築されています。オゾン発生器などの安全機能は、オペレータの長期的な安全性を確保し、有毒ガスに対する必要な保護を提供します。要するに、DNS SD-80BW-AVPは高速半導体製造のために設計された非常に洗練された装置です。オゾン発生器である高精度エンコーダを備えた3軸アライメントシステムを搭載し、基板上に方向性と非方向の均一なフィルムを提供することができます。その感度の向上、高速パターン露光時間、ピンホールフリー機能、アルミニウム阻害剤、反射防止層、およびフォトレジストの広い範囲で動作する能力は、このユニットのすべての利点です。オゾン発生器などの長期的な安全機能により、オペレータの最大限の保護が保証されます。この機械はあらゆるフォトリソグラフィープロセスのための信頼でき、強い選択です。
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