中古 DNS / DAINIPPON SD-80BW-AP #9186681 を販売中

DNS/DAINIPPON SD-80BW-APは、DNS Screenが半導体製造のために開発したフォトレジストイメージング機器です。このシステムは、業界で最も高度なリソグラフィ要件の要求を満たすように設計されています。このユニットには、両面マスクライティング、非接触開発、および最高レベルの露光精度とスループットを提供するように設計されたその他の機能などの高度な技術が組み込まれています。機械の両面マスク書き込み機能は、ウェーハの両側の同時露出と書き込みを同時に可能にします。これにより、露出時間が短縮され、結果の再現性が向上します。また、両面マスクライティングツールは、露出しているレイヤーに応じて2つの異なるライティングモードを提供します。自動非接触開発機能により、マスク開発時のオペレータ介入を削減できます。自動開発メカニズムは、レイヤーごとに最適な開発者レベルを自動的に設定し、必要に応じて開発者レベルを自動的に調整します。これにより、各レイヤーに最適な解像度を得るために開発者設定が最適化されます。DNS SD-80BW-APには、マシンパラメータの設定を簡素化し、露出結果をすばやく確認できる高度なコントロールパネルユーザーインターフェイス（CPUI）も備えています。このパネルは、資産全体の運用状況を容易に監視できるように設計されており、エラーが発生した場合の調整が容易になります。また、高精度アライメント制御のためのマルチレベル位相シフトクォーター干渉計と、高解像度イメージング用のマルチビームプロファイルモニターを使用して、高度なイメージング性能を備えています。DAINIPPON SD-80BW-APには、加工ウェハの追跡が便利な自動ウェーハ説明責任装置が付属しています。最後に、システムには、より長い生命およびよりよい性能のためのミラーおよび光学装置のフォトレジストの効果を最小にするために作り付けの反腐食性の単位があります。全体的SD-80BW-AP、フォトレジストイメージングマシンは、最高レベルの精度とスループットを実現する高度な性能と精度制御を提供します。このツールは、直感的なコントロールパネルで信頼性の高いスループットを実現し、ウェーハの説明責任を自動化して処理済みウェーハを簡単に追跡できます。