中古 DNS / DAINIPPON SD-200W-AVPE #9157629 を販売中

DNS/DAINIPPON SD-200W-AVPEフォトレジスト装置は、高度な技術と様々なフォトレジスト用途に最高の性能を提供する強力で汎用性の高い開発システムです。レジストコーティング、露出を利用し、高精度で再現性のあるプロセスを開発します。半導体およびHDI/マイクロ電子デバイスの製造に最適です。このフォトレジストマシンは、マルチローブのロータリースリットノズル成膜ヘッドで構成されており、レジスト、冷却されたデュアルビーム電動X-Yステージ、および自動化されたプロセスシーケンスユニットの優れた均一性を可能にします。マルチローブのロータリースリットノズル成膜ヘッドは、正確で反復可能なレジストコーティング性能を提供し、プロセスを微調整するための簡単な調整機能を備えています。異なる濃度レベルでレジストを供給できる3つの独立制御レジストノズルを装備し、より高い精度でレジストパターニングを行うことができます。冷却されたデュアルビーム電動X-Yステージは、レジスト処理中にウェーハサンプルを滑らかで振動のない位置に配置できるように設計されており、複数のウェーハキャリアを簡単に取り付けるための大きなスプリットコラムプラットフォームが含まれています。電動ステージは、正確なサンプル移動を可能にし、走行全体を通して正確で一貫したレジストパターンを保証します。自動化されたプロセスシーケンスユニットは、画像のサイズの拡大からウェーハサンプルの記録テストまで、プロセス全体を制御する責任があります。また、各サンプル実行のデータも保存され、結果の自動比較が可能です。このデバイスを使用すると、エンジニアは時間の経過とともに資産パフォーマンスを最適化し、生産歩留まりを向上させることができます。全体的に、DNS SD-200W-AVPEフォトレジストモデルは、さまざまなフォトレジストアプリケーションに高度な技術と高性能を提供し、正確で反復可能で信頼性の高いレジスト処理を提供します。マルチローブのロータリースリットノズル成膜ヘッドから自動化されたプロセスシーケンスユニットまで、この装置は包括的な機能を備えており、半導体およびHDI/マイクロ電子デバイスの製造に最適です。