中古 DNS / DAINIPPON SCW-80A-AVP #293617284 を販売中

ID: 293617284
ヴィンテージ: 1992
Coater / Developer system 1992 vintage.
DNS/DAINIPPON SCW-80A-AVPフォトレジスト装置は、フォトリソグラフィープロセスに優れた精度を提供する高度な精密エッチングおよびコーティングシステムです。幅広い業界の微細加工プロセスに適しています。このユニットは、さまざまな用途で機能部品の製造に使用できる、卓越した高品質のフォトマスクを製造するように設計されています。DNS SCW-80A-AVP機は、高度な電子ビーム蒸発(EBE)と深紫外露光ツールの両方を使用して、正確なフォトレジストコーティングと露光結果を提供します。EBEアセットは、基板にフォトレジストの薄い層を適用し、基板表面に薄膜を作成するために使用されます。基板はモデルの深紫外露光ユニットに配置され、そこでレーザービームを使用してフォトレジスト層に目的の特性をパターン化します。また、従来の露出方式よりもはるかに短い露出時間を提供し、迅速な生産時間を実現します。DAINIPPON SC-W80A-AVP装置は、垂直露出源を使用して露出のドリフトを最小限に抑え、露出プロセス全体にわたって基板のレベルを維持します。この垂直露出源はまた、基板の表面の均一なカバレッジを保証します。また、露光ビームが常に基板に正確に照射されるように設計されたオートフォーカスユニットを備えており、品質の高い露光結果を保証します。最後SC-W80A-AVP、自動エッチングツールが搭載されています。このアセットは、高精度のエッチング処理を使用して、フォトマスクパターンが基板に正確に転送されるようにします。この高度なエッチングプロセスにより、優れた精度と滑らかな表面を提供し、高精度で信頼性の高い部品の生産を可能にします。全体として、DNS SC-W80A-AVPフォトレジストモデルは、生産レベルのフォトリソグラフィープロセスに最適です。高度なエッチングと露出源を使用して、優れた精度のフォトマスクを生成し、信頼性の高い性能で機能部品を製造できるようにします。この装置は、幅広い業界の部品の生産に適しており、優れた結果を提供することが確実です。
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