中古 DNS / DAINIPPON SCW-636-BV #9226344 を販売中

DNS/DAINIPPON SCW-636-BVは、集積回路の製造における半導体ウェーハのリソグラフィに使用される最先端のフォトレジスト機器です。このシステムは、6インチ（150mm）の大型カセット・ツー・カセット輸送に基づいています。1時間あたりのスループットは46ウェハで、集積回路の製造に優れた生産歩留まりを提供します。このユニットは、イメージングパラメータの正確な制御を得るために、温度範囲にわたって均一な処理を保証するマルチゾーン温度制御マシンを動作させます。このツールはまた、異なるワットや波長に最適な性能を提供するためにレンズの大規模な配列を使用するように設計されており、アプリケーションで非常に柔軟になります。アセットは空冷され、真空環境で動作し、優れたレジスト接着性とエッチング性能を提供します。また、集積回路の製造に影響を与える可能性のある粒子や汚染物質を除去するように設計された高効率のコンベアモデルを備えています。このSCW-636は、半導体ウェーハのリソグラフィーとイメージングのための信頼性と費用対効果の高いソリューションです。完全に自動化されており、組み込みのGUIインターフェイスを介して簡単に設定できます。これにより、異なるリソグラフィ用途向けのプロセスレシピのカスタマイズが最大限に簡単かつ柔軟に行えます。また、ウェーハ表面へのマスクアライメントを自動的に調整する高速レーザーアライメントシステムも搭載しています。これにより、正しいリソグラフィ画像が作成され、プロセスの歩留まりが向上します。さらに、このユニットは入出力ポートの範囲を提供し、他の生産ラインとのシンプルで安全な通信を可能にします。これらのすべての機能により、DNS SCW-636-BVは中規模から大規模な集積回路の生産に最適です。このマシンは非常に効率的で、非常に正確な画像と再現性のある結果を提供することができます。これにより、あらゆるリソグラフィープロジェクトにおいて、費用対効果が高く信頼性の高いソリューションとなります。