中古 DNS / DAINIPPON SCW-629-BV #293804833 を販売中
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DNS/DAINIPPON SCW-629-BVフォトレジスト装置は、半導体製造工場で使用される自動ウェーハ前処理システムです。このユニットは、光と化学物質を使用して、精密なマイクロメーターレベルの解像度で薄膜フォトレジストを堆積、開発、エッチングします。これにより、製造者は生産ラインの精度と速度を向上させることができます。DNS SCW-629-BVは、見えない紫外線を使用して、制御された環境で半導体ウェーハに感光材料またはフォトレジストの超薄層を堆積させます。正確な露出期間の後、フォトレジストはウェーハ上に望ましいパターンを形成しました。パターンは次に酸化物の溶媒および化学開発者を使用して開発されます；不要なフォトレジストが削除されます。その後、開発したパターンをフォトレジストからウェーハに伝達する化学活性ガス、試薬、不活性ガスの組み合わせを使用してエッチングを続けます。精密な設定、エッチング時間、温度を使用して、回路パターンの正確なサイズと形状を正確に微調整することができ、より複雑な微細およびナノスケール設計を可能にします。このマシンはSmartView Monitorを使用して、エッチング処理を測定、監視、制御します。SmartViewはまた、プロセス設定を自動的に調整するリアルタイムフィードバックツールを使用して、ウェーハ全体の化学レベルと温度レベルを均一にします。これにより、エッチングのずれや不整合を防ぎ、プロセス時間を短縮します。さらに、このアセットは、業界標準のすべてのフォトレジストと互換性があり、ウエハサイズを最大200mmまで処理できます。ダイニッポンSCW-629-BVフォトレジストモデルは、半導体生産ラインの精度とスケーラビリティを向上させるさまざまな機能を提供します。そのリアルタイムのフィードバックと化学制御は、精密エッチングと均一で一貫した結果を保証します。また、業界標準のすべてのフォトレジストと互換性があり、あらゆるサイズのウェーハを処理できます。
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