中古 DNS / DAINIPPON SCW-622-B #9111281 を販売中

DNS/DAINIPPON SCW-622-Bは、エレクトロニクス半導体加工におけるマスクアライメントリソグラフィ用途のフォトレジストシステムです。コンピュータ制御のウェーハステージ、デジタルイメージングシステム、マスクのアライメントと微調整のためのアライメントステージが装備されています。ステージは、直径200mm、高さ30mmまでのウェーハに対応する2軸チルトおよび回転機能を備えています。また、ウェーハ上にマスクアセンブリを正確に配置するための精密リニアステージも備えています。デジタルイメージングユニットには、マスクとウェハのアライメントを視覚的に検査するためのオートアライナーとビデオカメラが含まれています。また、ソフトウェア制御のオーバーレイツールも搭載しており、正確なイメージベースのアライメントが可能です。このアセットには、高解像度の電動投影光学ヘッドと手動投影光学モデルが装備されています。プロジェクションオプティクスは、接触マスクパターンサイズと形状を保持するウェーハに直接マスク画像を投影することができます。アライメントユニットは、プリアライメント用のミクロン分解能の光学レーザーを備えたレーザーポジショナーと、マスク登録の微調整のためのサブミクロンレーザーセンサーを備えています。この装置は、マスクキャビティとウェーハのシャッター開閉を介してロボット負荷に設定されています。このシステムは低温で動作することができ、プロジェクトオプティクスの下流にあるウェーハ処理用の真空ユニットが内蔵されています。DNS SCW-622-Bフォトレジストマシンは、ファインラインパターニングやドライバ回路などの半導体IC製造に最適です。このツールは、LCDフラットパネルディスプレイの生産にも適用できます。さらに、幅広いレジストや露出温度に対応することができます。これにより、厚くて薄いフィルムパターニング、バンプステンシルなどの複雑なレイアウトパターンを使用することができます。