中古 DNS / DAINIPPON / SCREEN SD-W80B-AVP #293821746 を販売中

ID: 293821746
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2001
Coater / Developer system, 8" Specification: 3‑cup capacity 2001 vintage.
DNS/DAINIPPON/SCREEN SD-W80B-AVPは半導体産業のために設計された高度なフォトレジスト装置です。最先端の技術と革新的な機能を組み合わせることで、半導体リソグラフィのプロセスにおいて高精度・高効率を実現します。DNS SD-W80B-AVPユニットの重要なコンポーネントの1つは、半導体基板のフォトレジスト材料の精密かつ均一なコーティングを可能にする高度なディスペンシングメカニズムです。これにより、高水準のデバイス性能と歩留まりを達成するために不可欠なリソグラフィープロセス中に一貫した正確なパターンが保証されます。機械は異なったフォトレジスト材料およびコーティングの条件を収容するためにいろいろ分配ノズルおよびポンプが装備されています。SCREEN SD-W80B-AVPツールは、分配機能に加えて、スピン速度、スピン時間、分配量などのプロセスパラメータを正確に操作できる高度な制御アセットを備えています。このレベルの制御により、半導体業界の厳しい品質基準を満たすために不可欠な高いレベルのプロセス再現性と一貫性を実現することができます。また、SD-W80B-AVP装置にはエッジビーズ除去(EBR)機能も搭載しており、欠陥を低減し、リソグラフィープロセス全体の品質を向上させるために不可欠です。このシステムは、機械的および化学的方法を組み合わせて、基板の端から余分なフォトレジスト材料を除去し、きれいで明確なパターンを確保します。コーティング後のフォトレジスト素材の特性を最適化するために必要不可欠な、高度なベーキング機能を備えたSD-W80B-AVPユニットのもう一つの特徴です。基板の均一な加熱を可能にする高精度制御ホットプレートを搭載し、フォトレジスト素材の最適な接着性とパターン化を実現しています。さらに、DNS/DAINIPPON/SCREEN SD-W80B-AVPツールは、生産性と使いやすさを念頭に置いて設計されています。このアセットはユーザーフレンドリーなインターフェースを備えており、オペレータは簡単にリソグラフィープロセスを設定および制御できます。さらに、レシピ管理やデータロギングなどの高度な自動化機能を備えており、ワークフローの合理化とスループットの向上に役立ちます。全体として、DNS SD-W80B-AVPは、半導体リソグラフィ用途において卓越した精度、信頼性、生産性を提供する高度なフォトレジスト装置です。革新的な機能と高度な機能を備えたこのシステムは、高品質で高スループットのリソグラフィープロセスが成功に不可欠な、要求の厳しい半導体製造環境に適しています。
まだレビューはありません