中古 DNS / DAINIPPON / SCREEN RF3 #293609035 を販売中
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ID: 293609035
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2007
Coater, 12"
SC Cabinet
Waste fluid cabinet
Power supply box
ACU
ETU
Fan
2007 vintage.
DNS/DAINIPPON/SCREEN RF3は、マイクロエレクトロニクスデバイス製造用に設計されたフォトレジスト機器です。システムは、自動DNS印刷機と光源付きの露出ユニットで構成されています。この組み合わせにより、マイクロエレクトロニクスの製造プロセスにおいて、高精度、高露光制御、高露光効率を実現します。DNS RF3機には、射撃銃と高解像度の光学ツールが装備されています。露出アセットのLCD SCREEN印刷機は、感光材料を基板に正確に露出させるように設計されています。LCD大日本印刷機は、X-Yトランスポートモデルを使用して、被露材を基板上に正確に配置して登録します。SCREEN RF3露光用光源は、最大8,000 mW/cm2の光強度に達することができます。この光源は、選択した感光材料の最適な露出、ならびに基板の露出のために調整することができます。光源は紫外線領域での露出も可能であり、露出による基板の燃焼を最小限に抑えるのに役立ちます。露光装置は、バッチモード動作用にも構成されており、複数の基板を一度に生産することができます。これにより、生産時間と材料コストを大幅に削減できます。このシステムのオートメーション機能は、露光プロセスにおけるヒューマンエラーを低減し、より高い歩留まりをもたらします。DAINIPPON RF3ユニットは、露光プロセスを最適化するための他の多くの機能も提供しています。露出記録と記録を統合し、onDNS/DAINIPPON/SCREENのセットアップと制御機能を提供し、露出プロセスを完全に制御します。また、露出エラーを修正し、露出時間を最小限に抑え、製品歩留まりを最適化するソフトウェアも提供しています。結論として、RF3は、マイクロエレクトロニクスデバイス製造用に設計された効率的で正確なフォトレジストマシンです。このツールは、高い露出制御と高い露出効率、ならびに露出プロセスを最適化するためのバッチモード操作およびその他の多くの機能を提供します。このアセットは、機能と制御機能を統合しているため、露出プロセスを完全に制御し、精度を向上させることができます。
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