中古 DNS / DAINIPPON SC-W80B-AVPE #9316693 を販売中
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DNS/DAINIPPON SC-W80B-AVPEフォトレジスト装置は、半導体デバイスの加工に使用されるオールインワンシステムです。このユニットは、コートや乾燥、開発、エッチング、スピンオンの大型基板など、幅広い機能を提供します。この機械は高度に自動化されており、コーティングプロセスの正確な制御と詳細なフィードバックを可能にします。DNS SC-W80B-AVPEフォトレジストツールは、DNSスクリーンプリンタをベースにしており、5ミクロンまでの精度で基板をコーティングするための5軸アライメントの精度アセットを備えています。このプリンタは、最大20 µmの解像度を持つ420 x 420 mmのフレームプロファイルを備えています。また、粗いアライメントのためのエリアカメラ、基板を素早く簡単に取り付けるための真空ラック、基板を供給するためのコンベアモデルも含まれています。この装置は、幅12インチ、長さ50インチまでの基板に対応できる4つの異なる乾燥オーブンを備えています。このシステムは、プロセス制御機能の配列も備えています。単一のリモートコントロールユニットでユニット全体を制御でき、ユーザーはすべてのプロセスを手動または自動で制御できます。マスクアライメントのための自動エッジトリミング機能、高度なアライメントとパターン認識のためのデジタル画像処理機能を内蔵しています。さらに、フォトレジストや薄膜材料のスピンオン層のための超高精度スピニングユニットと、層厚の均一性を確保するためのバックストリップ機能を備えています。DAINIPPON SC-W80B-AVPEフォトレジストツールは、1時間あたり最大800ウェーハのスループットで、高効率です。高精度な生産環境での使用を想定して設計されています。さらに、この資産は、ANSI/ESD規格に適合するように設計されており、RoHS準拠であり、生産労働者と運用する環境の両方にとって安全であることを保証します。SC-W80B-AVPEフォトレジストモデルは、高性能半導体デバイスの製造に最適です。それは信頼でき、使いやすく、優秀な正確さおよび精密を提供します。デジタルイメージ処理やエッジトリミングなどの高度な機能や高速動作を活用することで、高品質なデバイスを毎回確実に生産することができます。
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