中古 DNS / DAINIPPON SC-W80A #9269116 を販売中

DNS/DAINIPPON SC-W80Aは、シングルウェーハフォトリソグラフィ用のフル機能フォトレジスト機器です。このシステムは、シングルステージウェーハホルダー、ウェーハ位置決めユニット、スキャナで構成されています。これは、フォトレジストのオプションの広い範囲を備えているため、さまざまなエッチング用途に使用することができます。標準的なフォトマスキングとパターニング方法、最大100mWの光源を使用して、ウエハ表面にレジスト材料をパターン化します。このツールは8インチのウェーハ容量を持ち、異なるウェーハサイズに対応する調整可能なウェーハプレートを備えています。ウェーハホルダーは最大80度の動作範囲を持ち、露出時の正確なウェーハ位置決めを可能にします。DNS SC-W80Aには、1。2um解像度、最大30mm/secのスキャン速度、および1 μ mの再現可能な精度を提供する多軸スキャンアセットが装備されています。さらに、このモデルは、ソフトウェアでプリセットできる最大4つの異なるパターンを同時にスキャンすることができます。これにより、高精度なパターンを迅速かつ効率的に生成できます。装置はまた完全なオートメーションを提供し、容易な操作を可能にします。自動入力プロセスでは、タッチパネル制御システムとバーコードラベルを使用して、必要な材料をすばやく読み込むことができます。さらに、このユニットは直感的なユーザーインターフェイスを提供しており、設定をカスタマイズしてウェーハプロセスを制御するために使用できます。最後に、DAINIPPON SCW-80Aは、最高品質の結果を保証するための高度な機能の範囲を含みます。これらには、正確なゼロポイント露出レベルを維持するための圧力制御装置が含まれます。自動露出の口径測定；ダークフィールドとダークパターンの修正。そして自動用具の検出およびクリーニング機能。これらの機能は、この高性能フォトレジストツールの特徴であり、時間の経過とともに信頼性が高く一貫した結果をもたらします。