中古 DNS / DAINIPPON SC-W80A #293760416 を販売中

DNS/DAINIPPON SC-W80Aフォトレジスト装置は、フォトレジスト加工のためのコンパクトで自動化されたソリューションです。このシステムは、高精度のパターニング機能を提供し、特定のアプリケーション要件を満たすためにさまざまなフォトレジストタイプを使用することができます。フォトマスクによって形成されたパターンをフォトレジストコーティングされたウェーハに露出するための紫外線光源を備えています。光源は特定の波長を放出し、ユーザーは露出レベルを制御することができます。これにより、パターニングプロセスの高精度を実現できます。このスキャンツールは、ユーザーがスキャン速度とスキャン領域を正確に制御して、追加のステップなしで複雑なパターンを再現できるようにすることで、精度をさらに向上させます。スキャン速度は0。5〜10 Um/secの間で調整可能で、最大解像度は0。1 μ mです。アセットの高精度リニアエンコーダ、リニアアクチュエータ、クロスポイントセンサーにより、正確な動きを実現します。このモデルは効率的なプロセス制御のために設計されています。加熱・湿度制御機能を内蔵し、プリクリーン機能を備えています。プリクリーン機能は有機残留物を排除しながら、所望の温度と湿度が設定されたときにプロセスを自動的に開始および停止するようにプログラムすることができます。この装置は堅牢な設計であり、過酷な動作環境下でも正確な性能を保証するために堅牢に構築されています。それはまた低い維持および長期使用のために設計されています。全体として、DNS SC-W80Aはフォトレジスト処理のためのコンパクトで自動化されたソリューションです。堅牢な性能と効率を維持しながら、高精度で正確なパターンを提供します。洗練された温度/湿度制御機能とプリクリーン機能により、このシステムは産業および研究用途に最適です。