中古 DNS / DAINIPPON SC-W80A #293592644 を販売中

DNS/DAINIPPON SC-W80Aは、6「/8」半導体・フラットパネルディスプレイなどのフォトレジストやポスト露出ベーク（PEB）の用途に使用される自動フォトレジスト装置です。プレベイク、レジストスピン、フォトレジストアライメント、露出、PEBの精密制御プロセスを含む、完全に自動化された高精度なシステムです。DNS SC-W80Aユニットの特徴は、高精度・高精度です。CCD顕微鏡ツールと自律測位機を搭載しており、フォトレジストを基板上に正確に配置します。また、均質なレジストコーティングを保証するデュアル発振機構を備えており、均一で再現性のある厚さがあり、高い歩留まりと均一なプロセス結果が得られます。フォトレジスト露光プロセスは、光学技術とデジタル技術を組み合わせたマスクレス露光ツールを使用して実行され、優れた画像精度と解像度を提供します。このアセットには、デジタル露出パターンジェネレータと高速光ファイバコントローラが組み合わされているため、露出時間が短縮され、露出精度が向上します。ポスト露出ベーク工程も高精度で再現性に優れています。このモデルには、高速ベーキングオーブンと高度な制御技術が装備されており、ウェーハの均質なベーキングを保証し、一貫した信頼性の高いポストベークの結果を得ることができます。ダイニッポンSCW-80Aは、最先端の技術とプロセスを組み合わせ、信頼性と再現性の高いフォトレジスト機器をお客様の生産ラインに提供しています。スピン、露出、ベーキングプロセスの高精度を保証し、優れた歩留まりと均一なプロセス結果をもたらします。また、高度な自動化機能により、プロセス時間の短縮と柔軟性の向上を実現し、製品品質の向上とコスト競争力の向上を実現します。