中古 DNS / DAINIPPON SC-W80A-AVQ #9373064 を販売中

DNS/DAINIPPON SC-W80A-AVQは、量産用途において大型ウエハを取り扱う自動フォトレジスト加工装置です。最大8インチまでのウェーハをシングルマスク層とマルチマスク層の両方で処理するために設計されており、≤5µmのフォトマスク登録精度を達成することができます。また、高速、高精度、多軸検査、パターン認識ユニットも備えています。DNS SC-W80A-AVQは、高品質の出力を確保するための幅広い機能を提供しています。フォトマスクと基板の位置ずれを処理する自動ウェーハアライメントマシン±0.5µm搭載し、誤った位置合わせ基板を識別・拒否することができます。このツールはまた、高アスペクト比の構造と埋め込みライン/穴のために特別に設計された高性能のベベルエッチング資産を備えています。さらに、このモデルは低コストで生産性の高い操作のために設計されています。最大200ウェハ/時間のスループットで≈8秒のサイクルタイムを実現できる高速・高精度な転送装置を搭載しています。また、最大20枚のフォトマスクを収納できる多層カセットユニットを搭載しており、複数のマスクを連続実行することが可能です。DAINIPPON SCW-80A-AVQは、さまざまな監視および制御機能を備えています。これらの機能には、基板アライメントおよび露出条件のリアルタイム監視と、機械の操作と監視を容易にする専用のコントローラーユニットが含まれます。このツールはまた、高度なデータ管理アセットを備えており、ユーザーはプロセスの特性とパラメータを保存およびレビューし、新しい単一または繰り返しのプロセスレシピをすばやく入力できます。高品質な出力を確保するために、DNS SCW-80A-AVQは統合された欠陥検出モデルを備えています。この装置は、粒子、折り目、剥離、未開発などの欠陥を検出することができます。また、自動PWB品質管理システムを搭載しており、PWB上の曲げ、薄型、摩耗などの異常信号を検出および分析することができます。全体的SC-W80A-AVQ、フォトレジスト加工ユニットは、量産アプリケーションを容易にするように設計された高度で高性能な機械です。高速・高精度な転送・パターン認識システム、高度なデータ管理・監視システムなど、幅広い機能を備えています。このように、DNS/DAINIPPON SCW-80A-AVQは、高レベルのフォトマスク登録精度と欠陥制御を必要とする実験室や生産環境に最適です。