中古 DNS / DAINIPPON SC-W80A-AVQ #9095606 を販売中

DNS/DAINIPPON SC-W80A-AVQは、基板上にフォトレジストの薄膜を堆積させるために設計されたフォトレジストコーティング装置です。スピンドル蒸着法を活用し、様々なサイズのウェーハにフォトレジストを適用する全自動システムです。この装置は、x、 y、 z軸に沿ってスピンコーター主軸を回転させるプロセスであるスピンドル蒸着を使用しており、フォトレジストの均一な蒸着を可能にしています。スピンドルは最大300 RPMの速度で回転することができ、正確で正確なコーティングに最適です。さらに、速度は0。1 RPM以内で調整でき、プロセスのさらなる最適化が可能です。また、空冷ユニットを内蔵しており、ウェハ上のフォトレジストが過熱しないようにしています。このツールは、フォトレジストの正確かつ正確な堆積を確保し、基板に適用される流量と総膜質量がコーティング全体でも比較的残っていることを確認するために、さまざまなポンプ、バルブ、ノズルレギュレータを備えています。さらに、フィードフォワード補償機能も備えており、精密で再現性のあるコーティングが可能です。操作が簡単なタッチスクリーンを搭載し、独自のアルゴリズム監視機能を備えており、簡単かつ迅速な統計プロセス制御とフィードバック制御を可能にします。これにより、ユーザー定義のすべての設定が最適な結果を得るために自動的に調整されるようになります。また、オペレータの安全を確保するための多種多様な安全システムを備えています。これらには、オーバーコート保護システム、オーバースピード保護ユニット、オーバードレイン保護装置が含まれます。これらの安全システムはすべて、コーティングされているオペレータとウェーハの両方を保護するのに役立ちます。結論として、DNS SC-W80A-AVQは、高精度でよく設計されたフォトレジストコーティングツールです。多種多様な機能により、正確で再現性のあるコーティングが可能です。また、多種多様な安全システムにより、オペレータの安全性とすべての安全規制の遵守が保証されます。これにより、アセットは高精度コーティングのニーズに最適です。