中古 DNS / DAINIPPON SC-W80A-AVQ #188553 を販売中

DNS/DAINIPPON SC-W80A-AVQは、シングルマスクイメージングやデュアルマスクイメージング（DM）など、複数のフォトリソグラフィーアプリケーションをサポートできるモジュラー処理ツールで構成されるフォトレジスト機器です。このシステムは、高度な半導体リソグラフィープロセスの要求に応えるために特別に設計されており、∅40 nm以下の特徴を作り出すことができる高精度で再現可能なイメージングソリューションを提供しています。このユニットは、サブミクロンの登録と画像精度を生成することができる最先端のレーザー投影線幅（LPL）機能を備えています。また、最大3nm以内の信頼性の高いオーバーレイ精度で正確なアライメントマークを作成することができます。主成分はプロジェクションレンズで、最大335mmの実用フィールドサイズで、ウェーハに高解像度の画像を投影するように設計されています。このレンズツールは、0。82の高い数値開口（NA）を使用しており、焦点深度と高分解能を実現しています。このアセットにはモーター駆動ステージも備えており、ウェーハのアライメントと画像位置を正確に制御できます。ステージには精密なリニアモータ軸を採用しており、画像とウエハのアライメントを完全に自動化しています。さらに、このモデルは、フォトレジストが所望の用量で適切に露出するように温度制御された環境も備えています。DNS SC-W80A-AVQには、さまざまなユーザーフレンドリーな機能を提供する洗練されたツールインターフェイスも含まれています。あらかじめプログラムされたレシピにアクセスしてプロセスステータスを監視する機能や、自動プロセスの最適化とパラメーター設定が含まれています。また、レジスト特性の変化に対応できるカーブフィッティングや、高度な予測露光技術を用いて正確な線量調整が可能な超高精度露光制御機能など、独自の機能を備えています。DAINIPPON SCW-80A-AVQは、半導体リソグラフィープロセス向けの信頼性と精度の高いイメージングソリューションを提供するために設計された先進的なフォトレジストシステムです。高精度プロジェクションレンズ、モータ駆動ステージ、温度制御環境、堅牢なツールインターフェース、およびプロセス精度と再現性を向上させるいくつかの高度な機能を備えています。