中古 DNS / DAINIPPON SC-W80A-AVG #9157627 を販売中

DNS/DAINIPPON SC-W80A-AVGフォトレジスト装置は、高度なリソグラフィープロセスで使用されるツールです。最先端の光源技術とフォトマスク技術を駆使し、精度と再現性を提供します。その中心には、クリプトン・フッ化物（KrF）エキシマレーザーという光源が組み込まれています。この強力なレーザーは、光の放射の深紫外線（UV）源を提供し、高速かつ解像度の小さい機能サイズを印刷することができます。DNS SC-W80A-AVGマシンは、レーザーの電力を活用して、10ナノメートル（nm）未満のフィーチャーサイズを生成できます。このツールには、精密なパターン生成と光学アライメントによる操作を提供する、よく設計された光学光路もあります。この光学系は、マスクとレーザーフォーカスをサポートする固定ライトシェルフとともに、フローティング可動マスキングプラットフォームを備えています。これにより、マスクとレーザーの正確なアライメントが可能になり、+/-1 µmのパターンの再アライメントが保証されます。優れた光学に加えて、大日本SC-W80A-AVGアセットには、高度なフォトマスク技術も搭載されています。この技術は、フォトレジストをマスクと基板システム上に分配し、それらを互いに隔離するために機能します。高度なフォトマスクの使用は、マスクと基板がフォトレジストのクロストークや汚染を経験しないことを保証し、パフォーマンスが低下する可能性があります。SC-W80A-AVG Photoresist Modelは、優れた光学技術とフォトマスク技術を提供する高度なリソグラフィーツールです。パワフルなKrFエキシマレーザーにより、非常に小さなフィーチャーサイズの高精度フィーチャープリントが可能です。さらに、高度なフォトマスク技術により、汚染を防ぎ、優れた性能と再現性を実現します。