中古 DNS / DAINIPPON SC-W80A-AVG #293705460 を販売中
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DNS/DAINIPPON SC-W80A-AVGフォトレジスト装置は、半導体デバイス製造用に設計されたプロフェッショナルなフォトリソグラフィーシステムです。高度な紫外レーザーを利用して、フォトレジスト（半導体プロセス工程でマスクを作成するために使用される光感受性ポリマー）にパターンを正確に露出させます。このユニットは、高解像度光学などの最新技術と最適化されたソフトウェアインターフェースを組み合わせて、優れたイメージング結果とプロセスの再現性を提供します。DNS SC-W80A-AVGには、紫外線レーザーと光学系を搭載した超高解像度ステッパー/スキャナが搭載されており、フォトレジストに画像パターンを投影および移動します。ステッパー/スキャナは、スキャンモードまたはレーザーモードのいずれかで操作でき、ユーザーに最大限の柔軟性を提供します。このマシンには、露出や線量設定などのイメージングプロセスパラメータを制御するための最適化されたグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）も含まれています。レーザー光源はウォームアップ時間を必要とせず、マイクロエレクトロニクス業界にとって理想的な露光スポットサイズを5µmのように小さく提供します。これは、露出中に発生する可能性のある焦点外または球面収差を最小限に抑えるように設計されています。さらに、イメージング中のスキャン時間を短縮し、スループットを向上させ、待ち時間を削減するように設計されています。ダイニッポンSC-W80A-AVGには、真空チャックと制御されたアンビエントチャンバーがあり、安全で信頼性の高いフォトレジスト加工が可能です。チャックは安定した反復可能なアライメントを提供し、4点制御ツールは振動を低減し、高品質の画像を生成します。アンビエントチャンバーは、制御された雰囲気を提供し、汚染から保護し、フォトレジスト処理に理想的な環境を確保します。また、Z度制御、x-y方向信号調整、集中ビーム出力制御、イメージエッジ強化などの高度な露出制御機能も備えています。± 5µmの再現性を備えた± 2µmの全体的な精度を備えています。SC-W80A-AVGには、データストレージや検索モデル、診断フィードバック機器、メンテナンスアラートシステムなど、さまざまな機能も含まれています。このユニットは、最高の画質と再現性を必要とするメーカーや研究開発組織に最適です。
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