中古 DNS / DAINIPPON SC-W80A-AVFGLP #9300629 を販売中
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ID: 9300629
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1996
SOG Curing furnace, 8"
Cassette to cassette
Buffer indexer interface between SOG Track and furnace
Vertical / Horizontal laminar flow loader station
(3) Zone vertical tube furnaces
1996 vintage.
DNS/DAINIPPON SC-W80A-AVFGLPは、マイクロエレクトロニクス業界の大量生産プロセス向けに設計されたフォトレジスト機器です。最新のフォトレジスト技術と自動化されたプロセスを組み合わせた高度なツールで、プロセス制御を維持しながら最高の歩留まりを実現します。システムは、前処理ユニットとウエハ処理ユニットの2つの部分で構成されています。プリトリートメントユニットは、処理が行われる前にフォトレジスト材料のフィルムをウェーハに配置するように設計されています。このフィルムは、信頼性の高い収率に必要な均一なコーティングを保証するのに役立ちます。ウェーハ処理ユニットは、フォトリソグラフィを使用してウェーハ表面のパターンを定義するように設計されています。これは、フォトレジストへのさらなる治療とフォトレジストストリッパーでのクレンジングによって達成されます。DNS SCW-80A-AVFGLPは、ウェーハ表面にピッチを正確に揃えるための高精度ステッピングモータを備えています。これにより、ウェーハ上の正確で均一なパターンが保証されます。その他の機能には、より正確な動きのためのレーザーアライナー、高い歩留まりを確保するためのさまざまな光学および電子センサーおよびプロセスがあります。このユニットには、加工ウェハを素早くソートする自動選別機も装備されています。DAINIPPON SC-W80A-AVFG （LP）の性能は機械によって提供されるオートメーションのために正確、再現可能であると報告されます。このソフトウェアは、温度、露出時間、プロセス材料、プロセス手順などのパラメータを制御します。これは、均一な結果のオプション時間を提供するのに役立ちます。このツールはハイスループットのためにも設計されており、ステッピングモータは1秒間に最大6個のウェーハを処理できます。要するに、DNS/DAINIPPON SCW-80A-AVFGLPは、マイクロエレクトロニクス業界のハイスループット生産用に設計されたハイエンドフォトレジスト資産です。レーザーアライナー、オートメーション、精密モーションおよびプロセス制御の組み合わせにより、高い歩留まりで正確で再現性のある結果を提供できます。
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