中古 DNS / DAINIPPON SC-W80A-AV #293617281 を販売中

ID: 293617281
ヴィンテージ: 1992
Coater / Developer system 1992 vintage.
DNS/DAINIPPON SC-W80A-AVは、スピンコーティングにより基板にフォトレジスト材料を正確に適用するように設計された完全自動フォトレジスト装置です。これは、フォトレジスト材料を均等に分配するために、下部チャンバーで基板を回転させる回転ディスク付きのプラットフォームを備えています。基板はチャンバーに配置され、フォトレジストを受信する基板を準備するために事前に調整されます。プリコンディショニングの後、フォトレジストがチャンバーに追加されます。チャンバーにフォトレジストを追加した後、基板は様々な速度で回転し、/またはフォトレジストを広げて均一な分布を確保するために様々な方向に回転します。このシステムは、コーティング処理を微調整し、最適なアプリケーションを提供するために、これらのスピンコーティングパラメータを正確に調整することができます。このユニットは、コンピュータベースのユーザーフレンドリーなインターフェイスによって制御され、ユーザーはチャンバーと基板の設定を簡単に設定できます。さらに、このマシンには統合されたWeb対応データロガーが装備されています。これにより、スピンコーティングのプロセスをリモートで監視および記録し、必要な調整を行うために結果を表示および分析することができます。DNS SC-W80A-AVは、幅広いコーティング要件を可能にし、高い柔軟性と汎用性を提供します。このツールは、直径8インチまでのさまざまなサイズ、形状、および材料の基板に対応できます。さらに、クイックリリースメカニズムを搭載しており、風のバリアや気密性を維持しながら基板を簡単に交換することができます。このモデルは、スピンコーティング工程で高精度と再現性を確保するように設計されています。このプラットフォームは、タッチタイプの静電容量レベルシートセンサーを使用して基板の存在を検出し、基板の高さを正確に測定し、それに応じてスピンコーティングパラメータを調整することができます。さらに、このシステムには視覚検査ユニットが内蔵されており、製造前にフォトレジストの欠陥を確認することができます。DAINIPPON SCW-80A-AVは非常に正確でユーザーフレンドリーなフォトレジストアプリケーションマシンで、スピンコーティングプロセスで望ましい結果を得るための幅広いオプションをユーザーに提供します。統合されたデータロギングツール、正確な調整設定、自動化された操作により、このアセットは正確で効率的なフォトレジストアプリケーションに最適であり、研究室、生産施設、その他の産業設定にとって貴重なツールです。
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