中古 DNS / DAINIPPON SC-W80A-AG #9274812 を販売中

ID: 9274812
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1996
Coater system, 8" 1996 vintage.
DNS/DAINIPPON SC-W80A-AGは、高解像度と高精度の両方の処理を提供する最先端のフォトレジスト露光装置です。フォトレジスト露出は、半導体デバイスの製造における重要なステップであり、製品の品質を確保するために高い精度と精度を必要としています。DNS SCW-80A-AGシステムは、これらの要件を満たすように設計されています。ユニットには、1。2 kWの最大総エネルギーで2つの露出ビームに対応できる高度なデュアルビーム露出ヘッドが装備されています。これにより、フォトレジストフィルム上で一貫した正確なパターン形成が保証されます。露出ヘッドは最適な露出角度を得るために傾けることができ、その位置はX軸とY軸で調整して、露出が所望の領域に正確にあることを確認することができます。このマシンは、露出パラメータを微調整してより高い精度を得るために自由にプログラムすることもできます。さらに、DAINIPPON SC W80A AGツールには、プログラム可能な制御アセットによって制御できるスキャナと露出テーブルが含まれています。これにより、幅広い露出パターンを簡単かつ迅速に実行できます。テーブルを移動して回転させ、デバイスまたは基板を正確に配置して最適な露出を得ることができます。DNS/DAINIPPON SCW-80A-AGモデルは、最小線幅0。2ミクロンの生産が可能です。さらに、装置には機械的および電気的安全機能が内蔵されており、予期しない露出を防ぎます。また、ウェハクリーニングと前処理システムをユニットに組み込むことで、自動化された処理を行うことができます。全体として、DNS SC-W80A-AGは最先端のフォトレジスト露光機です。二重露光ビームを搭載し、基板を正確に配置できるスキャナとテーブルを備えています。さらに、最小線幅0。2ミクロンの高分解能・高精度加工を実現しています。このツールは、さまざまな安全性とオートメーション機能も提供しているため、基板に最適なものだけを要求する人に最適です。
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