中古 DNS / DAINIPPON SC-W80A-AG #9227384 を販売中

DNS/DAINIPPON SC-W80A-AGフォトレジスト装置は、半導体製造などに使用されるフォトリソグラフィーシステムの一種です。この単位は回折の格子光学が付いているプログラム可能な、低速の接触レーザーの走査器です。80mm×80mmのスキャン面積を持ち、ミクロンからサブミクロンまでの長方形と正方形のフォトレジストパターンを露出することができます。この機械はシリコンウェーハのような設計された基質で一般に使用されます。DNS SCW-80A-AGツールは、スキャンオプティクスの一部として回折格子を使用するコンタクトレーザースキャンヘッドを使用しています。回折格子は、レーザービームを複数の回折ビームに分解してウェーハ表面に導く役割を果たします。変調された光線は、レーザーの出力が等しい強度の「ピクセル」または小さな平行四辺形の数を形成するように変更されたときに形成されます。この変調された光ビームは、フォトレジストコーティングされたウェーハ上で希望のパターンを露出するために使用されます。DNSシステムは、正確かつ再現可能なパターン、バッチ処理中の高いウェーハ数のための高速スループット、および優れた解像度でファインパターン定義を可能にするように設計されています。このアセットは、サブミクロン上のパターンを10 µm以下の高密度均一フィーチャーサイズに露出させることができます。大日本SC W80A AGモデルは、DRAM、 DRAM型メモリ、大規模集積（LSI）回路パターンなど、幅広い用途に使用できます。この装置の解像度は、使用される写真レジスト材料の特性、露出されるデバイスパターンの高度化、およびスキャナの光学解像度の能力に依存することに注意することが重要です。このシステムは、MOD-X、 Vision Plus、 Autolineウェーハ認識システム、およびその他の一般的なCADおよびフォトマスクシステムと互換性があります。また、タッチスクリーンモニターコントロールや精密アライメントオフセット調整用の自動アライメントアルゴリズム（AAA）などのユーザーフレンドリーなオプションも備えています。DNS SC-W80A-AG機械は複雑な装置のための非常に精密なパターンを作成する信頼できる手段を提供します。このツールは、高解像度スキャン機能、優れたスループット、およびユーザーフレンドリーな機能により、生産規模の半導体およびマイクロエレクトロニクスデバイス製造のための経済的で効率的なソリューションです。