中古 DNS / DAINIPPON SC-W629-BVQ #293748585 を販売中

DNS/DAINIPPON SC-W629-BVQは、半導体リソグラフィ用途に特化した2部構成の液体フォトレジストシステムです。フォトレジストは、水系感光層と非光感受性保護層からなるポジティブトーンの化学複合材で、半導体デバイス製造時のさまざまな基板およびプロセス条件において、優れた解像度、高感度パターン転送、信頼性の高い性能を提供します。水性感光層はドナーポリマー、イニシエータ、バインダー、感光剤で構成されています。ドナーポリマーは、少なくとも4％のヒドロキシエチルメタクリレート（HEMA）を含むポリビニルアミンで、HEMAとポリビニルアミノ可塑剤を組み合わせたイニシエーターバインダーです。水系感光層の感度計はCo （NH3） 6Cl3に基づいており、広いスペクトル範囲で優れたパターン伝達を提供します。この感光剤は、波長365ナノメートル（nm）および248nmの紫外線露光に特に有効であり、0。30micronおよび小型のフィーチャーサイズに推奨されます。感光性のない保護層は、基礎となるフォトレジスト層を保護するのに役立つポリマーベースの二次コーティングです。この層は、活性感光層とリソグラフィ用途におけるプロセス環境との間の効果的な化学的障壁を提供します。それは処理の間に使用されるほとんどの溶媒および他の化学薬品に対して抵抗力があり、剥離なしで根本的な感光層に付着します。DNS SC-W629-BVQフォトレジストシステムはフォトリソグラフィで使用するために設計されており、25から40°Cまでの標準的な処理条件に適しています。このフォトレジストは、優れた解像度、パターン転送、エッチング抵抗、アルカリエッチング剤との互換性、および高いフォトスピードを提供します。このフォトレジストは、耐溶剤性、UV安定性、露出後のベーク安定性を備えているため、半導体デバイス製造内の複数のプロセス工程に最適です。ダイニッポンSC-W629-BVQフォトレジストシステムは、高品質で高解像度のファインラインパターンを製造できるため、半導体デバイスの製造に最適です。信頼できる性能、高解像度、幅広いプロセス互換性を提供し、電子部品の形成において貴重なツールとなっています。