中古 DNS / DAINIPPON SC-W60A #9115318 を販売中

DNS/DAINIPPON SC-W60Aフォトレジスト装置は、半導体の製造に使用される超薄型フォトレジスト層を開発、暴露、エッチングするための完全なソリューションです。DNS SC-W60Aは、高精度の露出ビームアライメント、調整可能なオーバーラップ露出マスク、および高精度のウェーハ位置決めおよび真空保持を組み合わせて、優れたフォトレジスト加工結果を提供します。システムのアーキテクチャは、ベース、チルトステージ、手首ジョイントからなる3軸高精度ポジショニングユニットに基づいており、マスクワークステーション内の各ウェハを正確に配置します。この機械はマスクの層の厳密な重複を保障するために設計され、あらゆるサイズのウエハを収容するために調節可能です。また、最大限の均一性を確保するために、上下のスキャナを活用したパターン露出アレイを活用し、高品質な画像を作成してSCW-60Aます。さらに、このツールは、各ウェーハ表面が完全に粒子のないことを保証するために特別に設計されています。フォトレジスト層を可能な限り最適化するために、DNS SCW-60Aは、異なるレベルで圧力を吹くために機械シャッターを使用する高圧供給アセットを使用します。この制御プロセスは、フォトレジストパターンが基板に均一に付着することを保証するのに役立ちます。さらに、パーティクルを非活性化してプロセス全体を監視するオートフォーカスモデルを実装し、耐腐食性ステンレススチールチャンバーを使用することで、連続使用時の精度を確保します。DNS/DAINIPPON SCW-60Aは、エッチング中にRF発生器と化学物質源を使用して高性能反応性イオンエッチングを提供します。RFジェネレータは、ウェーハに送られる高周波を生成するように設計されており、チャンバー内のイオンがウェーハに引き付けられ、フォトレジストにパターンが作成されます。化学ソースは、エッチング処理が迅速かつ正確であることを保証します。正確で高品質な結果を得るために、SCW-60Aは各プロセスを監視するように設計されています。この装置には、粒子沈着、温度、圧力、フォトレジスト層、エッチング濃度を追跡する複数のセンサーと装置があり、その結果を自動的に液晶モニターに表示します。さらに、アルゴリズムベースのマッチングシステムは、各ウェーハが所定のパターンに正確に準拠することを保証します。全体として、大日本SC-W60Aフォトレジストユニットは、フォトレジストとエッチングのプロセスにおいて、精密で一貫して高品質な結果を必要とする半導体メーカーにとって優れた選択肢です。機械の高精度コンポーネント、正確な監視システム、および自動化されたプロセスを活用することで、ユーザーは信頼性の高い高度なフォトレジストソリューションを使用しているので安心できます。