中古 DNS / DAINIPPON SC-W60A #293768580 を販売中

DNS/DAINIPPON SC-W60Aは、薄膜メタライゼーションプロセスに対応するフォトレジスト加工装置です。このシステムは、フォトレジストを基板表面に除去・沈着するための装置の統合プラットフォームであり、高精度電子部品の製造に適しています。このユニットには、湿式加工ステーション、フォトレジスト除去機、蒸着ツールの3つの主要コンポーネントが含まれています。湿式加工ステーションには、高品質のフォトレジストを製造するための精密タンクが含まれています。タンクは非常に精密であり、サブミクロンレジストパターンの形成を可能にし、基板上に超微細な特徴を形成するために使用することができます。これらのタンクは、自動ボリューム制御、圧力制御、および化学制御を可能にし、最も最適な処理条件を保証します。フォトレジスト除去アセットは、基板表面からフォトレジストを正確に除去するように設計されています。強力な窒素プラズマを使用してフォトレジストを蒸発させ、クリーンな基板表面を残します。最大55mmまでの基板からフォトレジストを除去することが可能で、10nmまでの深度分解能を実現しています。蒸着装置はフォトレジスト応用プロセスの一環として使用されます。これは、フォトレジストを適用する高温蒸着プロセスを使用しています。この蒸着プロセスは高精度であり、フォトレジストを0。1um以内の精度で堆積させることができます。システム全体が厳格な品質管理要件の下で動作するように設計されています。このユニットは、厚さの精度測定、表面の清潔度の測定、ライン幅の測定、顕微鏡の測定など、幅広い検査と検査を行うことができます。これらのテストは、希望するフォトレジストが正確かつ信頼性の高い方法で適用されることを保証します。全体的に、DNS SC-W60Aは超微細で正確な基板機能を生成することができる高度なフォトレジスト加工機です。このツールは、高精度の電子部品の生産のために設計されており、一貫した信頼性と再現性のある結果を提供するように設計されています。