中古 DNS / DAINIPPON SC-W60A #293758572 を販売中

DNS/DAINIPPON SC-W60Aは、IC製造およびマイクロエレクトロニクス向けに設計された、高精度で最先端のフォトレジスト機器です。このシステムは、DUV（深紫外線）レーザー源を使用して、高精度な画像をレジスト基板に転送するために使用される、しっかりと焦点を当てた光線パターンを生成します。次に、画像基板に感光性抵抗材料をコーティングし、フォトリソグラフィックパターニング処理を容易にします。DNS SC-W60Aは、Eガン、露出フレーム、ウェーハホルダー、フォーカスステージなどの高度なユニットコンポーネントを備えており、画像パターンの優れた正確なアライメントを提供します。また、リアルタイムのプロセス制御とフィードバックを可能にするビジョンマシンを備えています。DAINIPPON SCW-60Aツールの高解像度・高精度により、フォトレジスト加工に最適です。フレーム間の形状、サイズ、スペース、使用される光の量などのパラメータを評価します。その高いダイナミックレンジは、複雑なパターンでも正確な露出レベルを保証します。また、E-gunは重要なドリフトなしで正確な露出制御を提供します。さらに、SCW-60Aの高精度フォーカス制御により、すべてのフォトレジストにおける正確な露出アライメントが保証されます。また、高速アライメント機能とエラー検出補正機能を備えた高効率です。このアセットにより、洪水暴露、前露、後露ベーキングなどのプロセスのアライメントや後処理などの複数の操作も可能になります。DNS/DAINIPPON SCW-60Aは、フォトマスクのパターニング、ウェハレベルのプロセス検証、露出後のベーキング、急速な熱処理、および反応イオンエッチング（RIE）など、さまざまなフォトレジストプロセスで使用できます。さらに、その機能は、フォトマスク、高度なプロセッサ（AP）およびLCDプロセス要件の最新要件を満たすように継続的にアップグレードされています。ダイニッポンSC-W60Aは、IC製造やマイクロエレクトロニクスに最適な信頼性と高性能フォトレジストモデルです。高度な機器コンポーネント、エラー検出および補正機能、高速アライメント機能を組み合わせて、効率的で正確なフォトレジストプロセスを提供します。