中古 DNS / DAINIPPON SC-W60A-AVQ #9148298 を販売中

DNS/DAINIPPON SC-W60A-AVQは、半導体産業における高精度マイクロファブリケーションの開発を目的とした最先端のフォトレジスト機器です。フォトレジスト素材をウェハ表面に均一で精密かつ再現性のあるコーティングパターンで塗布することが可能です。また、フォトマスクの輪郭線に沿って均一で正確な線を作成することもできます。このユニットは、フォトレジストアプリケーションの精度と再現性を保証する自動機械アライメントマシンを備えています。これには、イメージドライブ、ビルトインビジョンツール、ロータリーステージ、リニアスケール、およびさまざまなエンコーダシステムが含まれます。この資産には、リモート制御および監視機能用の最先端のプログラマブルロジックコントローラ（PLC）も装備されています。このモデルは使いやすく、使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイスとコンパクトなフットプリントを備えています。さらに、再現可能なプロセス駆動の最適化機能、レシピ管理装置、オンボードデータ処理およびストレージシステムなどの高度なサポート機能を搭載しています。このユニットはまた、異なる粘度、プロセス温度、および特徴を持つ幅広いフォトレジストを適用することができます。デュアルポンプマシンを搭載し、目的のジオメトリを生成するために必要なフォトレジスト材料の正確なボリュームを供給することができます。デュアルポンプツールは、過剰ポンプによる物質汚染に対するバッファも提供します。DNS SC-W60A-AVQには、精度と精度のための多くの高度な機能が装備されています。これらには、基板表面の変形を測定するための高度な基板センサと、垂直と横方向の同時運動を可能にする高度な水平基板ステージが含まれます。この資産はまた、大量のフォトレジスト材料を処理することができます。最大6つのウェーハを同時に処理できるように設計されています。このモデルはまた、処理されるフォトレジスト材料の品質を確保するのに役立つ高度な循環濾過装置を備えています。最後に、DAINIPPON SC-W60A-AVQは、高精度で反復可能なフォトレジスト装置の製造用に設計されています。最も要求の厳しい微細加工および半導体アプリケーション向けに設計されており、精度と再現性を最大限に発揮します。