中古 DNS / DAINIPPON SC-W60A-AV #9251325 を販売中

DNS/DAINIPPON SC-W60A-AV Photoresist Equipmentは、マイクロエレクトロニクス機器を高精度かつ高速にパターニングするために使用される高度なリソグラフィーシステムです。その機能は、高度な薄膜および計測技術、包括的なマテリアルハンドリングシステム、高精度の光学システム、フォトレジスト処理などがあります。MEMS（マイクロエレクトロメカニカルシステム）やIC（集積回路）などの超微細ラインやフェルールの製造に最適です。このマシンには、デュアル波長共振励起レーザー、偏光維持ファイバーベローズ、全場投影レンズが装備されています。これにより、非常に複雑なパターンでも正確で再現性のある露出が可能になります。このツールには多軸ステージも装備されており、幅広い光学イメージング用途で精密かつ反復可能な動きを可能にします。また、このステージにはインデックス機能が内蔵されており、幅広いパターンにわたって正確かつ再現性の高い位置決めが可能です。一貫したレジストプロファイルを確保するために、アセットは真空避難チャンバを備えた半自動ウェハハンドリングモデルと統合されています。ウエハ露出工程では、最適なレジストプロファイルを得るためにウエハを操作し、生産量の増加に貢献します。このシステムは、MEMS、 IC、ハードディスクドライブ、フラットパネルディスプレイ生産など、幅広い用途を持つ磁気ドメインのパターン作成にも使用できます。この目的のために、単位は2次元の磁界の強さを同時に測定する光学分散の偏光計と統合されます。また、イメージングプロセスに伴うサーマルドリフトを積極的に補償することにより、温度安定性制御を提供します。さらに、このマシンは同時にイメージングと計測操作も可能で、ユーザーは製造されたデバイスの品質とデザインモデルを対比させることができます。これは、結果として得られる製品の精度と信頼性を向上させるのに役立ちます。全体として、DNS SCW-60A-AVフォトレジストツールは、幅広い機能を備えた高度なリソグラフィ資産です。その機能は、高度な薄膜および計測技術、包括的なマテリアルハンドリングシステム、高精度の光学システム、フォトレジスト処理などがあります。MEMSやIC製造における超微細ラインやフェルールの製造に最適です。