中古 DNS / DAINIPPON SC-W60A-AV #9248933 を販売中

DNS/DAINIPPON SC-W60A-AVは、集積回路やマイクロエレクトロニクスの製造に使用される最先端のフォトレジスト機器です。このシステムは、直接書き込み電子ビームリソグラフィーツールに基づいています。電子ビームから利用可能なサブミクロン分解能を使用して、フォトレジストコーティングされたウェーハに正確に書き込むことができます。ユニットには、デザイン、パターンレイアウト、制御用のソフトウェアも含まれています。DNS SCW-60A-AVの電子ビームは、連続書き込みとバッチモードの両方の動作を可能にします。連続書き込みでは、電子ビームを使用してフォトレジストを一定の速度で直接露出させ、連続的なWebパターンを作成します。バッチモードでは、一連のユニークなパターンを作成し、電子ビームのたわみがウェーハ上のパターンを生成します。対物レンズ、電子源、専用の電気光学回路からなる一体型光学ツールを搭載しています。この光学アセットは電子ビームを集中させるために使用され、さまざまな解像度を使用することができます。光学モデルは、電子ビームを自動的に調整して、露出領域に一定の焦点を維持します。大日本SCW 60A AVは、最小線幅が0。8ミクロン未満、最小フィーチャーサイズが0。4ミクロンのパターンを書くことができます。さらに、電子ビームを正確にプログラムして、指定されたピッチでラインパターンを生成することができます。この機能により、フォトレジストは正確なレベルの電磁エネルギーにさらされ、忠実度の高いパターンが得られます。DNS SC-W60A-AVには、生産で使用する場合のパフォーマンスを最適化するように設計された制御装置も含まれています。そのソフトウェアには、パターンサイズ検証や自動レベリングなどの機能が含まれています。これにより、正確で反復可能なパターンが生成されます。このシステムには、多くの安全機能も含まれています。ガスエンクロージャには、圧力トランスデューサ、ソレノイドバルブ、緊急圧力安全弁が装備されており、電子ビームリソグラフィの使用に関連する潜在的な危険性を最小限に抑えることができます。全体として、SC-W60A-AVは複雑な集積回路とマイクロエレクトロニクス設計を作成するための強力で信頼性が高く安全なフォトレジストユニットです。その直接書き込み電子ビームリソグラフィ機能、統合された光学機械および制御機能により、精密、正確、再現性、安全なパターンを最大限の効率で作成できます。