中古 DNS / DAINIPPON SC-W60A-AV #9018261 を販売中

DNS/DAINIPPON SC-W60A-AVは、半導体製造プロセスで使用される最先端のフォトレジスト機器です。直径200mmまで、厚さ30mmまでの基板上にN型、 P型のパターンを生成μことができます。このシステムは高度な設計ツールとシミュレーション機能と統合されており、デジタルファブリケーションのための魅力的なソリューションとなっています。単位はフォトレジストの沈着から始まる4段階のエッチングプロセスから成っています。これは、2つの独立したソース、基板キャリアテーブルとディスペンサーを使用することによって達成されます。基板キャリアテーブルは、基板にフォトレジストを均一に堆積させます。ディスペンサーは特定の量のフォトレジストを沈殿させるように調節され、層の厚さを変えるのに使用することができます。フォトレジストを塗布すると、マスクを通して放射線にさらされます。放射線は、基板の特定の部分をターゲットにし、カスタムパターンを提供するために調整することができます。イメージング段階では、2台のカメラを使用して、レジストレイヤーの特徴を見つけて洞察します。イメージングを容易にするために、光学顕微鏡とレーザーツールを使用できます。第3段階は開発段階です。ここでは、レジストレイヤーを開発し、イメージしたパターンを明らかにします。露出した部分はさらにエッチングされ、基板はすすぎにさらされます。この洗浄は、パターン化された層を破壊することなく、表面から任意の残留化学物質を除去します。第4段階では、パターンを完成させるためにコンフォーマル層が堆積します。コンフォーマル層が配置されたら、基質はすべての化学薬品が取除かれることを保障するために二度目に洗浄されます。これらの4つのステップが正常に完了した後、ウェハはドーピングや金属化などのさらなるプロセスに使用することができます。全体として、DNS SCW-60A-AVは、基板上に半導体パターンを作成するための信頼性と迅速なプロセスを提供する高度なフォトレジストマシンです。優れた画像分解能、高い沈着精度、および欠陥の可能性が低いように設計されています。直径200mmまで、厚さ30mmまでの基板に対応できるため、先進的な半導体製造に最適なソリューションとなってμます。