中古 DNS / DAINIPPON SC-W60A-AV #293750908 を販売中

ID: 293750908
ヴィンテージ: 1991
Coater / Developer system 1991 vintage.
DNS/DAINIPPON SC-W60A-AVフォトレジスト装置は、最も要求の厳しいアプリケーションを処理するように設計された完全に自動化された、統合された静電ステップおよび繰り返しフォトマスク露出システムです。DNS SCW-60A-AVユニットは、露光による高精度・高精度マイクロの実現に最適です。大日本SCW 60A AVは、ステップとリピートの両方を処理するだけでなく、移動プロセスを処理するために構成することができる高速、5軸の露出ヘッドを使用しています。5軸の動きには、固定高さの正確なZ軸、角度調整のためのシータ軸、横方向の移動のためのX軸とY軸が含まれます。露出ヘッドは、最大12ミクロンのアライメント精度で4ミクロン分解能のパターンを再現することができます。さらに、DNS SCW 60A AVには、航空画像パターンをより正確に配置するための特許取得済みの可変レーザー配置機が組み込まれています。DNS SC-W60A-AVには、露出精度のための高精度のQuadraArmor™減速機とスリットツールが装備されています。QuadraArmor™アセットは、元の空中画像パターンを正確に低減する4つのステージで構成されており、モアレのアーティファクトがない非常に細かい特徴を露出させることができます。ベースモデルには、露出フィールドの冷却を強化するための減速機ブロワー装置も含まれています。また、フォトレジストシステムSC-W60A-AV IRC (Integrated Relax Chamber)を採用しており、露出ヘッドがフリット層やサーマルサグの回路パターンを均一に吸収し、製造工程での露出精度と分解能を高めます。自動化されたSC-W60A-AVは容易な変数設定および仕事制御のためのユーザーフレンドリーのタッチスクリーンのモニターを特色にします。タッチスクリーンは、詳細な統計レポートや品質保証ツールを提供しながら、ジョブのプレビュー、保存、リコールにも使用できます。このユニットにはオフラインのグラフィカルインターフェイスが含まれているため、ユーザーは画像処理ジョブを準備し、オフサイトでマシンを制御できます。DNS/DAINIPPON SCW-60A-AVは、高精度、高精度、再現性が必要なフォトマスク用途を介してマイクロマスクに最適です。信頼性の高いハードウェア、直感的なソフトウェア、堅牢なプロセス制御を組み合わせたSCW-60A-AVは、高精度で再現性の高いエクスポージャーを提供し、優れた結果を得ることができます。
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