中古 DNS / DAINIPPON SC-80EX #9293520 を販売中

DNS/DAINIPPON SC-80EXは、幅広い柔軟性と剛性のある基板に高精細パターニングを提供するために設計された最先端のフォトレジスト機器です。優れた性能と幅広いプロセス互換性により、DNS SC-80EXシステムはフォトレジスト処理に精度と汎用性をもたらします。このユニットは、露出と微調整プロセスパラメータを集中させるための高度な制御メカニズムを備えています。また、高精度で高精度な自律真空基板対基板アライメントマシンを搭載しています。DAINIPPON SC-80EXは、ステップアンドリピート、オートステッチ、1/2トーンの多焦点レンズのステップアンドリピートなど、さまざまな露出モードも提供しています。さらに、SC-80EXには統合されたインラインモニタがあり、プロセスに関連するすべてのパラメータを継続的に測定および記録し、プロセスの安定性と高精度なパターニングを保証します。DNS/DAINIPPON SC-80EX、 3Dプリント、微細加工、医療機器製造などの用途に特に適しています。DNS SC-80EXは、幅広いUVフラッドおよびコンタクトレジストシステムと完全に互換性があり、優れたプロセス汎用性を提供し、新しいレジスト技術との互換性を保証します。このツールには、さまざまな波長をカバーする6つの超低圧水銀ランプを備えた均質な光学アセットが装備されています。これにより、従来の正と負の両方のフォトレジスト処理に適しています。汎用性の高いハードウェアとソフトウェアプラットフォームを搭載し、高速リソグラフィ用途に適したSC-80EXです。3軸ステージとロータリー機能を一体化したことで、複雑なデザインの過剰露出のない正確なパターン作成が可能になり、パターニング機能がさらに強化されています。このモデルは、統合されたCAMera Control Equipment （CCS）を使用した高度なプロセス制御およびフィードバックオプションも提供します。このCCSは、フォトレジストの露出および露出していない領域を検出し、適切なパターン化とレジスト層の均一な露出を確保することができます。さらに、SC-80EXは、基板表面から残留物を除去するために使用されるユニークな洗浄設計で構成されています。このシステムは、空気除去と溶剤の両方のアプリケーションを組み合わせて、スポットレスで残留性のないパターニング面を確保します。要するに、DNS/DAINIPPON SC-80EXは、現代産業の要求に応えるために設計された注目すべきフォトレジストユニットです。豊富な機能により、幅広い基板や材料に高精度パターニングを施すことができ、多くの特殊なアプリケーションや製造プロセスに最適です。