中古 DNS / DAINIPPON SC-80BW-AV #9235507 を販売中

DNS/DAINIPPON SC-80BW-AVフォトレジスト装置は、全自動、高速ウェーハ処理システムです。本体は、ウェーハトランスポート、スピンコートユニット、露出ユニット、開発ユニットの4つの主要コンポーネントで構成されています。ウェーハトランスポートは、基板をウェーハローダーからスピンコートユニットに移動します。スピンコートユニットは、レジスト材を基板全体に均等に配分するように設計された高精度の装置です。露出ユニットには、レジストコーティングされたウエハのパターン領域を選択的に露出するために使用されるUV光源が含まれています。また、これらのパターン化された領域の露出を容易にするための回転ステージが装備されています。開発ユニットは、レジストの露出した部分と露出していない部分を除去するように設計されています。DNS SC-80BW-AVフォトレジストマシンは、欠陥を低減し、スループットを向上させるために設計された高精度なツールです。このアセットには、基板のパターン化された領域の高精度な露出を確保するために、ダイレクトイメージセンシングおよび調整モデル（DISA）が装備されています。ダイレクトイメージセンシングと調整装置は、ウェーハの動きを監視し、それに応じてUV光源の露出を調整します。このシステムは、レジストの不均一なコーティングに伴う欠陥を低減し、スループットと製品品質を向上させるのに役立ちます。このユニットには、レジスト材料の最高性能を確保するために、自動レジスト交換機（ARRS）も装備されています。ARRSは、基板の露出、温度、湿度を継続的に監視します。それは自動的に最高の性能を保障するために抵抗材料の集中そして構成を調節します。さらに、このツールには動的熱画像アセット（DTI）が装備されています。このモデルは、被覆基板の熱活性を検出して測定し、それに応じてスピンコートユニットの温度を調整するように設計されています。これは、基板の不均一な加熱または冷却による欠陥形成のリスクを低減するのに役立ちます。全体として、ダイニッポンSC-80BW-AVフォトレジスト装置は、最高のスループットで優れた製品品質を確保するために設計された強力な自動ウェーハ処理システムです。ダイレクトイメージセンシングと調整、自動レジスト交換、および動的サーマルイメージングシステムの組み合わせにより、欠陥を低減し、スループットを最適化し、レジスト材料の有効性を最大限に高めます。