中古 DNS / DAINIPPON SC-80BW-AV #9235497 を販売中

DNS / DAINIPPON SC-80BW-AV
ID: 9235497
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1996
Coater system, 8" 1996 vintage.
DNS/DAINIPPON SC-80BW-AVは、さまざまなマイクロエレクトロニクス用途向けに設計された最先端のフォトレジストおよびコーティング装置です。その汎用性と使いやすい設計は、むき出しやコーティングされたウェーハなど、さまざまな基板用のフォトレジストコーティングを実行するために使用することができます。高精度で再現性に優れているため、高品質の回路基板、集積回路、薄膜トランジスタの製造に最適です。DNS SC-80BW-AVは、さまざまな製品を大幅に強化する高度なフォトレジストコーティングを提供することができます。このシステムは、均一で反復可能なコーティング厚さを提供することができる8ヘッドスプレーガンで構成されています。各ガンには調整可能な気流パターンも装備されており、レジスト材料を正確に適用することができます。ノズルは、少なくとも8つの異なるスポットサイズを可能にし、0。2m未満の直径の均一性と再現性を実現します。また、自動基板処理用のロボットアームを搭載し、効率的なレジストコーティングが可能です。プロセスラインは、さまざまなソースから複数のレシピやレシピを処理できる使いやすいプログラミングソフトウェアを統合することで、さらに自動化することができます。また、自動ウェーハアライメントを処理するための特別なソフトウェアも設計されており、非常に正確なアライメントパターンが得られます。また、自動露出検査装置を搭載し、品質管理を徹底しています。X線、電子ビーム、中性子ビームなど、最大16種類のイオン化放射源を使用できます。さらに、このマシンには、さらなる検証のためにカメラをキャプチャするin-situ画像が含まれています。キャプチャされた画像は、製品の表面を検査するだけでなく、開発プロセスを監視するために使用することができます。このツールには、フォトレジストコーティング後の基板のベーキングを可能にするベーキングアセットも装備されています。これは、基板上のレジストの最適な接着性を確保するために重要です。ベーキングモデルの温度は、安全で最適化されたベーキングプロセスのために正確に調整し、レジストの接着性を高めることができます。DAINIPPON SC-80BW-AVは、信頼性の高い効率的なフォトレジスト機器をお探しの方に最適です。大容量PCB生産の厳しい要件を満たすように設計されており、最先端の技術でしか達成できない優れたコーティングと精度を提供します。
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