中古 DNS / DAINIPPON SC-60BW-AV #9235498 を販売中

DNS / DAINIPPON SC-60BW-AV
ID: 9235498
ウェーハサイズ: 5"
ヴィンテージ: 2011
Coater system, 5" 2011 vintage.
DNS/DAINIPPON SC-60BW-AVフォトレジスト装置は、IC、オプトエレクトロニクス、マイクロエレクトロメカニカル(MEM)デバイスなどの薄い基板上に小さな機能をエッチングするための効率的なシステムです。このユニットは、レジスト材料が異なる波長の光に化学的にさらされるデュアルレジストプロセスを使用しています。基板とフォトレジストの接着性が向上し、エッチング機能が向上します。DNS SC-60BW-AVマシンは、フォトレジストを紫外線レーザー光のビームにさらすことによって動作します。これは、基板の表面を選択的にエッチングする化学反応を引き起こします。レーザーの波長は別のエッチングの深さを達成するために調節可能です。このツールは、幅の数ミクロンまでの線やドットなどの非常に小さな機能を作成することができます。精密エッチングを確実にするためには、アセットの抵抗材料を所望の波長に適切に調整する必要があります。光学フィードバックと精密ビーム制御の組み合わせにより、高精度にチューニングされたレジストパターンを生成できます。また、使用する材料に応じてエッチプロファイルを迅速に調整する自動校正プロセスも備えています。また、エッチング結果をリアルタイムで表示する画像表示ユニットを搭載しています。これにより、エンジニアはエッチング機能の品質を迅速に評価し、所望の結果を得るために必要な調整を行うことができます。ダイニッポンSC-60BW-AVフォトレジストユニットには、エッチング工程で発生する熱を低減する高度な冷却装置が搭載されています。基板へのダメージを防ぎながら、精密エッチングを実現します。全体的SC-60BW-AV、フォトレジストツールは、薄い基板上の微細な特徴をエッチングするための効果的なツールです。デュアルレジストプロセスと自動校正を使用することで、エンジニアは正確なエッチングパターンを簡単に作成できます。このアセットは信頼性が高く、効率的で審美的であり、薄い基板エッチングプロセスに最適です。
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