中古 DNS / DAINIPPON SC-200W-AV #9210334 を販売中

DNS / DAINIPPON SC-200W-AV
ID: 9210334
ウェーハサイズ: 8"
Coater, 8".
DNS/DAINIPPON SC-200W-AVは、生産環境向けに設計されたフォトレジスト露光装置です。高解像度の光学イメージング設計と高度な制御ソフトウェアを備えています。このシステムは、フォトリソグラフィープロセス中に正確で反復可能な結果を提供するように設計されています。DNS SC-200W-AVは、高解像度プロジェクションレンズアセンブリを使用して、露光プロセスで優れた画像精度を提供します。レンズは、アクロマチックダブレットと平面フィールドレンズを含む8つの交換可能な要素で構成されています。これにより、優れたイメージング安定性と再現性が保証されます。このユニットには、信頼性の高い性能のための機械式オートフォーカス校正機も含まれています。このツールに含まれるイメージングソフトウェアには、正確な露出制御を可能にするユニークなアルゴリズムが含まれています。モザイクイメージのステッチなどの機能を備えており、同じオブジェクトの複数の画像をキャプチャできます。これにより、ターゲットエリア全体にわたって継続的なカバレッジが保証されます。アセットには高度なプログラム可能な機械式シャッターも含まれており、正確な露出タイミングを可能にします。DAINIPPON SC-200W-AVは、露光プロセス中の高度な基板保護を提供します。このモデルには、フォトレジストが露出過多にならないように自動化された周囲光制御装置が含まれています。また、フォトレジストをウェハに正確に適用するノズル成膜ユニットも搭載しています。このマシンはまた、正確さを確保するためのマルチヘッドオートフォーカスツールを備えています。一貫して再現可能な結果を保証するために、SC-200W-AVは高度な検査と校正機能を提供します。自動化された品質管理アセットが含まれており、エクスポーズドレイヤーを監視してエラーを発生させます。さらに、このモデルには、正確な追跡とレイアウトの断片化のための自動レチクルアライメント装置が含まれています。全体として、DNS/DAINIPPON SC-200W-AVは、正確で反復可能な結果を提供する高度なフォトレジスト露光システムです。その高度な光学系とソフトウェアにより、フォトレジストを正確に画像化し、優れた精度でウェーハに露出させることができます。ユニットの高度な保護と検査機能により、生産環境での使用に適しており、一貫した信頼性の高い結果を保証します。
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