中古 DNS / DAINIPPON SC-200W-AV #9157626 を販売中

DNS / DAINIPPON SC-200W-AV
ID: 9157626
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2000
Coater, 8" SMIF, SCx2/HPx5/CPx2/2PCPx2 2000 vintage.
DNS/DAINIPPON SC-200W-AVは、集積回路や半導体デバイスの製造に使用されるフォトレジスト機器です。基板にフォトレジストを正確かつ高精度にコーティングできるように設計されています。DNS SC-200W-AVは、ユーザーフレンドリーなインターフェイスを備えたコンピュータ制御システムで、高度な自動化とプロセス制御を提供します。大日本フォトレジストユニットSC-200W-AV、高度なフォトリソグラフィ技術を使用して、ウェハや基板にフォトレジストを正確に適用します。これは、フォトレジストの均一かつ一貫したアプリケーションを確保するためにコーティングヘッドの精密な動きを提供する高性能ステッピングモーターを装備しています。コーティングヘッドはフォトレジスト材料の精密な適用のために非常に小さいノズルを使用します。機械にまた適用される感光材料の厳密な一直線を保障するLEDの照明用具が付いている非常に高解像度の映写カメラがあります。SC-200W-AVはまた、プロセス監視機能の広い範囲を提供しています。複数のセンサーネットを利用してフォトレジストコーティング工程と環境条件の両方を監視するマルチゾーンプロセス制御アセットを備えています。また、汚染物の検出に使用することができるオプションのX線モニターが含まれています。シングルゾーン温度検出器は、フォトレジスト材料の温度を制限するためにも使用でき、一貫性のある品質を保証します。DNS/DAINIPPON SC-200W-AVフォトレジストモデルには、ユーザーがプロセスデータをキャプチャして共有できるさまざまなソフトウェアツールが付属しています。これには、設計とモデル作成のためのCADツールのスイートと、セットアップ、インストール、操作のための直感的なWebベースのGUIが含まれます。全体として、DNS SC-200W-AVフォトレジスト装置は、集積回路製造および半導体デバイス製造のための精密で高精度なコーティングを提供する高度で高性能なシステムです。幅広い機能とオートメーション機能を備えており、そのプロセスモニタリングツールは一貫して高品質の製品を保証します。
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