中古 DNS / DAINIPPON RF3S #9392802 を販売中

DNS/DAINIPPON RF3Sは、DNS SCREENによって製造されたフォトレジスト開発機器です。マイクロサーキット、MEMS （micro-electro-mechanical system）、その他のミクロンスケール構造の製造に最適です。DNS RF3Sフォトレジスト開発システムは、レジスト材料、開発ユニット、ストリッピングユニットの3つのコンポーネントで構成されています。レジスト材料は、スピンコーティングまたは化学蒸着技術を使用して基材に適用され、光にさらされます。希望のパターンに応じて、光はマスクまたは光源から直接生成されます。光が露出するとレジスト材の構造が変化し、基板上にパターン化されたレジストフィルムが形成されます。開発されたユニットは、露出した部分を除去するためにレジスト材料を処理し、残りのパターン化されたレジストを基板に選択的に転送することができます。ストリッピングユニットは、不要なレジストを基板から取り除き、パターン化されたレジストだけが基板に残ります。ダイニッポンRF3Sフォトレジスト開発ユニットの利点は数多くあります。ライン/空間解像度はそれぞれ0。2 μ m （0。008 mil）、 0。1 μ m （0。004 mil）で、優れたパターン定義と解像度を提供します。また、現代のデバイス生産に不可欠な高度な平面化を可能にします。さらに、このマシンは優れた使いやすさを提供し、手頃な価格です。また、j-OTF-互換性のあるリソグラフィーツールにシームレスに統合することができます。最後に、印刷されたレジストパターンは、内蔵のQCモニターで簡単に調べることができます。このツールを使用すると、欠陥の解像度と画質を同時に確認できます。また、0。2 μ m （0。008mil）の解像度でパターンリファレンスに自動的にアライメントすることで、高精度なアライメントを実現しています。これらの機能はすべて、マイクロエレクトロニクスデバイスの製造に最適です。