中古 DNS / DAINIPPON RF3 #9360860 を販売中

DNS/DAINIPPON RF3は、フォトマスク技術のリーダーであるDNS Inc。が開発・製造した最先端のフォトレジスト機器です。このシステムは、解像度、ライン幅、コントラストで最高の結果を提供するために設計されていますが、同時に高い生産性と低い環境負荷で優れた性能を提供します。このフォトレジストユニットは、4つの主要なコンポーネント、すなわち1で構成されています。フォトレジストコーター：フォトレジストコーターは、マシンの最初のステップであり、フォトレジストでフォトマスク基板を均等にコーティングするために使用されます。このコーターは、可変ディスク速度、真空チャック、およびオプションのクイックチェンジ機能を備えており、ユーザーはさまざまなフォトレジスト製剤をすばやく簡単に切り替えることができます。2.露出モジュール：露出モジュールは用具の第2ステップであり、ライトが付いているフォトマスクの基質を露出するのに使用されています。高エネルギーレーザーを備えており、フォトマスクの1つのセクションを一度に露出することができ、解像度を向上させるための可変ビームサイズとオートフォーカス機能を備えています。3.露出後ベーク/バーンオフモジュール：このモジュールはアセットの3番目のステップであり、露出後ベーク用の透過ランプを備えています。このモジュールは、必要に応じてフォトレジストを焼き払うためにも使用できます。4.開発モジュール：開発モジュールはモデルの最後のステップであり、フォトマスク基板から露出したフォトレジストを除去するために使用されます。フロースルー設計により、フォトマスク基板全体で一貫した開発が可能です。全体的に、DNS RF3フォトレジスト装置は、高精度、高解像度、およびコントラストを提供するために設計されています。これは、簡単かつ精度の高いリソグラフィックフォトマスクを製造するために探している人のための効果的で費用対効果の高いソリューションです。