中古 DNS / DAINIPPON RF3 #9213798 を販売中
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販売された
ID: 9213798
ウェーハサイズ: 8"
Coater / Developer system, 8"
3SC ((2) Coaters + barc) + 2SD
Coater: (9) Resist systems
(6) Barc systems
(2) DEV Systems
14 PHP + 4 HP + 6 CP (Chill plate)
R In-line.
DNS/DAINIPPON RF3は、ニトロセルロース、クロム、および高感度の感光材料を使用した精密フォトレジスト装置です。DNS RF3と呼ばれるこの材料は、日本のDNSによって開発された独自の樹脂ブレンドです。ダイニッポンRF3は、光にさらされると基板上の硬化層を開発し、ナノスケール機器の解像度、線幅、アスペクト比を制御することができます。RF3システムは、複雑な構造上のナノスケールのフォトリソグラフィーパターンを作成するための費用対効果の高い正確な方法を提供します。このユニットは、DNS/DAINIPPON RF3樹脂、クロム、および基板上に堆積する感光材料の組み合わせで構成されています。光増感材料は、露光ビームからの光エネルギーを吸収し、DNS RF3との反応により、硬化した材料の層になります。この堅くされた層は要求される設計を与えるために特定のパターンでエッチングすることができます。また、マイクロコンタクトプリンターと精密マスクアライナーを使用する必要があります。コンタクトプリンターは、クロムと大日本RF3の素材を正しい配置と正しい領域に配置してフォトレジストの基板を準備するために使用されます。その後、マスクアライナーを使用して、光ビームにさらされたいパターンを含むフォトマスクを配置します。基板が露出した後、フォトレジストを開発します。これは、硬化した材料の領域を除去してパターンを作成するプロセスです。RF3ツールの利点は、従来の光学リソグラフィーシステムと比較してわずかなコストで精密リソグラフィーを提供することです。ナノスケールのデバイスの生産に限らず、この資産は優れた成果をもたらすことが証明されています。このモデルは操作も比較的簡単で、マイクロメカニカルシステム、プリンテッドエレクトロニクス、ディスプレイ、イメージングオプティクスなど幅広い用途で使用できます。結論として、DNS/DAINIPPON RF3装置は、複雑な構造上のナノスケールのフォトリソグラフィーパターンを作成するための費用対効果の高い正確な方法を提供します。プロセスは比較的簡単であり、システムの利点は、幅広い用途に精密に使用できることです。
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