中古 DNS / DAINIPPON MST-300A #9026249 を販売中

DNS/DAINIPPON MST-300Aは、マイクロエレクトロニクスアプリケーションに最適な解像度と解像度の均一性を提供するように設計された先進的なフォトレジスト機器です。このシステムは、ウェーハステッパーからダイレクトイメージングシステムまで幅広い用途に適しています。このユニットは、不活性ガスを使用してウェーハにフォトレジストの精密なレシピを提供するマルチステップ薄膜蒸着（MSTD）と呼ばれる自動化学プロセスを備えており、望ましいパターンを適切に開発することができます。不活性ガスは高純度源であり、高解像度のイメージングと均一性を可能にします。MSTDプロセスにより、+/-0。5 µm 24インチウエハ以上の再現性を持つ画像が得られます。DNS MST-300Aには、イオンの精密ブラストを使用してフォトレジストを制御し、正確に層別化してサブミクロンの機能を作成するPower Booster Ion Implanterも搭載しています。この機械は最大4つのイオン注入を行うことができます。また、25mm水銀アークランプを備えた高解像度の露光ツールを搭載しています。DAINIPPON MST-300Aにはフォトマスクチャンバーが内蔵されており、複数のマスクを収納して露出を素早く切り替えることができ、最大4つの露出を同時に行うことができます。MST-300Aはまた、効率的で効果的なフォトレジスト除去を確保するために最適化されたエッチングおよびクリーニングモジュールを備えています。このモジュールには、効果的な汚れや残留物の除去のための自動ウェハウォッシュモジュールが装備されています。最後に、モデルは高輝度の裏面クリーニングオプションを組み込んでいます。これにより、処理前のウエハ裏面の洗浄を徹底することができます。これは、最高品質の結果が最終的に達成されることを保証します。DNS/DAINIPPON MST-300Aは、さまざまなマイクロエレクトロニクスアプリケーションで高品質の画像とソリューションを生成できる最先端のフォトレジスト機器です。マイクロエレクトロニクス事業における高精度イメージングに焦点を当てた組織に最適なシステムです。