中古 DNS / DAINIPPON 80BW #9134993 を販売中

DNS/DAINIPPON 80BWは、ウェーハ加工をはじめとするさまざまな集積回路（IC）製造プロセスで使用するために設計されたフォトレジスト装置です。このシステムは、アニゾール、クレゾール、および他の化学物質の混合物に溶解したポリメチルメタクリレート（PMMA）の化学組成に基づいています。紫外線にさらされると、DNS 80BWは光重合反応を起こし、ウェーハ表面に高抵抗性ポリマー層を形成します。この層は保護コーティングとして機能し、さらにIC製造プロセス中に金属や有機残留物などの不要な汚染から保護します。DAINIPPON 80BWをフォトレジストユニットとして使用する主な利点は、低エネルギー用量での高解像度、露光時間と感度の広い範囲、および高い全体的な解像度です。さらに、80BWは迅速に乾燥するために処方され、IC製造時の汚染および劣化のリスクを低減します。DNS/DAINIPPON 80BWで使用されるウェーハは、露出前に清潔で汚れのないものでなければなりません。ウエハーは、紫外線で照らされる放射線源の1位です。望ましい結果によっては、ウェーハを複数回表示する必要がある場合があります。露光プロセス中、DNS 80BWの光活性成分は化学変化を起こし、ウェーハ表面に抵抗層を形成します。このレイヤーは、エッチングまたは類似の技術を使用してさらに処理される可能性があります。DAINIPPON 80BWは、その使用を通じて、さまざまなIC製造ステップでその有効性がテストされています。一般的に、機械を使用して製造されたICは、高解像度、良好な表面レベル、および低いエッチング率を示します。また、露光時間が比較的短く、解像度に優れています。その結果、80BWは幅広いIC設計および用途に広く使用されているフォトレジストツールです。