中古 DNS / DAINIPPON 80B #9257028 を販売中
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DNS/DAINIPPON 80Bは、印刷/半導体業界で使用するために特別に設計されたフォトレジスト機器です。このシステムは、溶剤ベースのユニットであり、負と正の両方のフォトレジストに使用できるリソグラフィの高度な材料開発です。DNS 80Bのフォトレジストは、ポリスチレン樹脂とモノマーの2つの成分で構成されています。ポリスチレン樹脂は100％スチレンモノマーに由来し、モノマーはハロゲン含有材料を使用した変更されたスチレンで構成されています。これらの2つのコンポーネントを使用すると、材料の機械的および化学的特性をカスタマイズして、特定のアプリケーション要件を満たすことができます。フォトレジストの組み合わせの成分は、光にさらされたときに2つの重要なタスクを実行します。まず、ポリスチレン樹脂は、露出（光）からのエネルギーを吸収し、チェーンのクロスリンクを構築します。これはフォトレジストの硬化を引き起こし、基板に印刷される必要なパターンを作成します。フォトレジストのモノマーは、異なる特性を担っています。紫外線にさらされると重合反応を起こし、破壊性のある酸やアルカリなどの溶媒に強い複雑なポリマーネットワークを形成します。これにより、半導体製造プロセスで使用される基本的なエッチングおよび洗浄プロセスにさらされると、フォトレジストが安定していることが保証されます。DAINIPPON 80Bマシンは、2成分ポリマー構造のためだけでなく、フィルム成形能力のためにユニークです。銅、タングステン、パラジウムなどのあらゆる種類の基板に非常に適合しています。このツールは、基板への優れた接着性を備えた柔軟で弾力性のあるフィルム層に形成することができます。さらに、この資産は、一般的なフォトレジスト液体や溶媒に対して非常に耐性があります。さらに、80Bは環境に優しいフォトレジストでもあります。VOC排出量が30ppm以下の日本の環境省が提起する厳しい環境安全要件を満たすように設計されています。このモデルは、すべての実験室の要件を満たしており、いくつかのプロセスのために欧州連合によって承認されています。全体として、DNS/DAINIPPON 80Bフォトレジスト装置は、優れた光学性能、優れたフィルム接着性および光学特性、および環境に優しい機能を提供する、リソグラフィの先進的な材料開発です。このシステムは、要求の厳しい半導体アプリケーションのための優れたフォトレジスト特性を提供し、さまざまな基板上の幅広い画像を生成することができます。
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