中古 DNS / DAINIPPON 80B #9243276 を販売中

DNS/DAINIPPON 80Bは、ウェーハスケールデバイスの生産において優れた性能を提供するために特別に設計された画期的なフォトレジストシステムです。ケミカルウォッシュ、ナノスケール低温アニーリング法、インプリントリソグラフィー法を組み合わせることで、微細構造やナノ構造の製造において絶縁層に優れた分解・接着特性を付与することができる、化学機械的プロセスの強化です。この化学プロセスでは、ウェーハ表面からネイティブ酸化物を除去して、クリーンで密着性のある層を作成し、フォトレジストとデバイス層の間の理想的な結合を確保します。ナノスケールの低温焼きなましプロセスは望ましい特徴で締まることによって装置層の安定性そして均等性を高めます。DNS 80Bシステムは、インプリントリソグラフィー技術と組み合わせて、55nmまでの極めて微細な解像度を備えたウェーハスケールデバイスを製造するのに役立ちます。この技術は、超高感度フォトレジスト層と高度なデザインテンプレートを組み合わせています。フォトレジストは、高度なスピンコーティングプロセスを介して適用され、生成されるパターンと対応する構造を正確に決定するために、光の短いパルスにさらされます。低い活発化の温度のために、露出された区域は露出の直後に冷却されます。これにより、パターン制御、登録精度、エッジ品質を向上させると同時に、低い電気漏れの恩恵を受けることができます。また、十分に制御されたエッチング工程により、ライン幅の狭いデバイスと非常に均一な機能でデバイスを形成することができます。最後に、フォトレジストを化学溶媒で除去し、デバイス層を適用することができます。要するに、大日本80Bフォトレジストシステムは堅牢で信頼性の高いプロセスであることが証明されており、性能が向上したウェーハスケールのデバイスを製造しています。高度なリソグラフィ法と組み合わされた化学機械的プロセスにより、極めて微細な分解能と優れた接着特性が保証されます。これにより、優れた均一性とタイトなライン幅を備えた高性能デバイスが保証されます。