中古 DNS / DAINIPPON 80B #9053623 を販売中

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製造業者
DNS / DAINIPPON
モデル
80B
ID: 9053623
System Track interface for NIKON stepper, 5".
DNS/DAINIPPON 80Bは、業界標準の高精度フォトレジスト装置です。これは、統合チップやその他の電子デバイスの製造に使用される高解像度のリソグラフィおよびイメージングプロセスを容易にするために特別に開発されました。このシステムは、画像解像度を高めるために非常に効果的な感作プロセスを利用しています。このユニットは、基材にパターンを作成し、転送するために、光と化学プロセスの組み合わせを利用しています。まず、基板上に金属層で構成されたフォトマスクを置き、紫外線にさらされます。これは、露出光と選択的に反応するフォトレジストの化学物質層を活性化します。露出が進むにつれて、光はフォトレジストによって選択的に吸収され、残りの未吸収領域は手つかずに残ります。露出プロセスの後、2番目の化学ステップを使用して、露出パターンを基板材料に転送します。これは通常、デベロッパーソリューションを使用して行われます。これは、影響を受けない領域をそのまま残しながら、露出したフォトレジストを選択的に削除します。処理される基材の種類によっては、溶剤、酸、塩基溶液などの他の材料も使用されることがあります。光活性露出と化学除去の組み合わせは、フォトマスクで作成されたパターンを目的の基板に効果的に転送し、操作するために使用されます。さらに、DNS 80Bマシンには、パターンの精度と解像度をさらに洗練するための追加のメカニズムも含まれています。例えば、このツールには、プロセスの微調整を可能にする組み込みの高精度アライメントツールが含まれています。ダイニッポン80Bフォトレジストアセットは、高解像度の画像処理を必要とするリソグラフィープロセスに最適です。光および化学プロセスの組み合わせは、比類のない精度と再現性で正確なパターンを効果的に転送しますが、組み込み機能はプロセスをさらに強化します。このモデルは、高精度なパターンを必要とするあらゆる業界や研究環境にとって不可欠なツールです。
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