中古 DNS / DAINIPPON 80B #9035863 を販売中

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DNS / DAINIPPON 80B
販売された
製造業者
DNS / DAINIPPON
モデル
80B
ID: 9035863
ウェーハサイズ: 8"
Track system, 8" (2) Coaters.
DNS/DAINIPPON 80Bは、精密リソグラフィ用途向けに設計された大手フォトレジスト機器です。強固な接着性と特殊な機能を兼ね備えた高性能な水系システムで、優れた結果をフォトリソグラフィに提供します。フォトレジストユニットは、フォトレジスト開発者とフォトレジストリッパーの2つの主要コンポーネントで構成されています。開発者は、2成分のアルカリ酸と2成分の第四次アンモニウム化合物の湿潤剤の組み合わせの組み合わせです。この開発者は、正と負の両方のレジストを処理することができ、コーティングされたフィルムを選択的にイメージすることができます。開発者はまた、各リソグラフィーステップの後にレジスト内の不要なレイヤーを削除します。フォトレジストストリッパーは、銅塩、粘土、オルガノシリコン材料の混合物であり、基板を損傷することなく、選択した層をレジストから除去します。銅ベースの塩は界面活性剤として作用して除去プロセスを支援し、粘土はレジストと基材への表面損傷を防ぐのに役立ちます。これらの要素の組み合わせは、DNS 80B機械に優れたリソグラフィック結果をもたらします。レジストの強固な接着性により、正確な線幅と優れた解像度を実現します。さらに、このツールは、フォトレジストパターンの尖塔形状欠陥を除去するためのエッジ分解能を改善しました。この資産はまた、プロセス制御の改善と製品歩留まり率の改善のための幅広いプロセス緯度を可能にします。フォトレジストモデルは防水なので、剥離工程の後に空気乾燥工程を必要としません。また、耐久性に優れ、初期接着性に優れているため、品質を低下させることなく、複数の開発および剥離サイクルに耐えることができます。この装置は、低消費電力でサイクルタイムが短いため、費用対効果が高くなります。結論として、ダイニッポン80Bフォトレジストシステムは、さまざまなプロセス用途に優れた結果を提供する堅牢で正確なリソグラフィーユニット技術です。強力な接着性と特殊な部品を組み合わせ、毎回信頼性の高い結果を提供します。エッジ分解能、プロセス緯度、耐久性を向上させ、製品歩留まり率を向上させます。
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