中古 DNS / DAINIPPON 80B #9022469 を販売中

DNS/DAINIPPON 80Bは、半導体ウェーハ加工に使用される高性能フォトレジストコーティング装置です。それは非常に正確で、均一な抵抗の適用のために設計されています。このシステムは、自動レジストディスペンス、ウェハマッピング、手動または自動ウェハトランスファー、コンフィギュレーション可能キャビテーションなど、いくつかの技術を組み合わせています。ユニットの自動レジストディスペンス技術は、最高レベルの効率でさまざまな熱間および冷間抵抗を正確に測定、制御、および分配するように設計されています。ウエハーの表面に均一なレジストカバレッジを提供するため、全方向ディスペンスヘッドを含むさまざまなディスペンスヘッドを備えています。マシンはコンピュータによって制御され、オペレータはディスペンスパラメータを調整して監視することができます。DNS 80Bのウェハマッピング機能は、レーザースキャナーを使用して、ウェーハ上のレジスト層を正確に測定およびマッピングします。これにより、コーティングプロセス中の不整合を排除するだけでなく、ユーザーは各ウェーハにカスタムマッピングパラメータを設定することができます。ウェーハ転送ツールを使用すると、ディスペンスステーションから露出チャンバーへのウェーハの手動または自動転送が可能になります。自動化されたアセットは、ロボティクスアームを使用してウェーハを素早く移動させますが、手動モデルには人間のオペレーターが必要です。最後に、DAINIPPON 80Bには、コンフィギュレーション可能なキャビテーション装置も含まれています。キャビテーションは、ウェーハ表面から過剰抵抗を除去するプロセスであり、フィルムの均一性を向上させるのに役立ちます。システムのキャビテーションユニットは、キャビテーションプロセスの強度を制御するように構成することができ、ユーザーは正確な仕様にレジストの均一性を調整することができます。全体として、半導体ウェーハ上80B一貫した均一なレジスト層を生成するように設計された信頼性の高い正確な自動フォトレジストコーティング機です。高精度ディスペンシング、ウェハマッピング、キャビテーション機能により、信頼性が高く、効率的で正確なコーティング方法を提供します。