中古 DNS / DAINIPPON 80A #9162941 を販売中

DNS/DAINIPPON 80Aは、薄膜フォトレジストコーティングを開発するために設計された最先端のフォトレジスト機器です。このシステムは、MEMS/MOEMS、フォトリソグラフィー、マイクロエレクトロニクス、光学コーティングなど、幅広い用途に一貫した再現性のある性能を提供するように特別に設計されています。ユニットは、薄膜フォトレジストの均一で一貫したコーティングのために、フル機能のフォトレジストスプレーチャンバーと複数の精密蒸着ステーション（PES）で構成されています。スプレーチャンバーは、反応環境の温度と湿度の両方を制御するように設計されており、感光材料の均一な分布を提供します。また、適切な蒸着パラメータを確保するための真空インターロックも備えています。複数のPESは、薄膜フォトレジスト層の厚さを正確に微調整することを可能にする正確な層の堆積制御を提供します。DNS 80A装置には、高度な流体およびガス制御装置も含まれており、ツール内の最大7つの原子炉に精密なガス流量と圧力制御を提供するように設計されています。このアセットは、超高純度プロセスで構築された反応速度と層の堆積パラメータを正確に制御できるように設計されています。スプレーチャンバーやPESに加えて、薄膜層を均一に加熱するための精密ベーキングフラスコも80Aしています。オーブンは各層の温度を個別に制御するように設計されており、均一な焼き目を確保し、熱による損失を防ぎます。これにより、堆積した薄膜レジストが均一で一貫していることも保証されます。80Aには高度なコンピュータコントローラーモデルも含まれており、ユーザーは均一なフォトレジストアプリケーションに必要な幅広い条件を設定および監視することができます。さらに、マイクロプロセッサベースのコントローラにより、スプレーノズル圧力、コーティング速度、層厚、温度などのパラメータをリアルタイムで調整できます。これにより、ユーザーは変化する条件にすばやく適応し、生産プロセスを最適化することができます。全体として、DNS/DAINIPPON 80Aは強力で信頼性の高い薄膜フォトレジスト装置であり、幅広い用途に安定した再現性を提供します。DNS 80Aは、高度なフォトレジストコーティング、ベーキング、およびコンピュータコントローラーシステムを組み合わせることにより、非常に広範囲のアプリケーションプロセスのための精密な層の堆積制御を提供することができます。