中古 DNS / DAINIPPON 80A #9162935 を販売中

DNS/DAINIPPON 80Aは、薄いフォトレジストフィルムを異なる基板に正確に堆積させるように設計された高性能、超精密フォトレジストコーティング装置です。赤外線（IR）照明を利用して基板を均一に、安定し、予測的に正確に分散したレジスト材料に露出させる洗練されたシステムです。それは現代半導体の設計および製作で広く利用されています。このユニットは、メインハウジング、照明ソース、ディスペンスモジュールの3つの独立したモジュールで構成されています。メインハウジングユニットは露出ランプ、シャッター、コントロールマシンを内蔵しています。このツールで使用されるIR最適化された超高輝度ランプは、均一で安定した連続光源を提供し、制御された強度で基板に光を供給します。シャッターは自動モードと手動モードの両方で使用するように設計されており、コーティングプロセス中に安定した信頼性の高い軽いアプリケーションを保証します。高度なモーター制御は、フォトレジストを基板に露出させるために必要な敏感なタイミング要素に責任があります。照明ソースモジュールは、DNS 80A資産の中心です。それは一定の強度レベルで基質に光を届けることができる電子光源で構成されています。このモデルには、一連の調整可能なランプ、フィルター、レンズアレイが含まれています。このモジュールはまた、温度制御装置を備えており、安定した結果を得るために最適な温度でソースを維持することができます。最後に、ディスペンスモジュールを使用して、フォトレジスト材料を基板に正確かつ均一に供給します。これは、一連の機械的に調整可能なノズルヘッドによって調整された正確な噴霧プロセスで行われ、複数のフォトレジスト層をシーケンシャルレイヤーに適用できます。また、フォトレジスト層の正確な適用を保証するために、電子監視とフィードバックループの洗練されたユニットを備えています。結論として、大日本80Aは、優れた精度とフォトレジスト層の均一な堆積を提供する洗練された信頼性の高いフォトレジストコーティング機です。このツールは、精密な光源や電子制御システムなどの高度な機能を組み込むことにより、基板上に一貫した信頼性の高いフォトレジストコーティングを提供することができます。当社は、お客様が優れたフォトレジストシステムにアクセスできるよう、最新の技術を使用しています。