中古 DNS / DAINIPPON 80A #293830591 を販売中

DNS/DAINIPPON 80Aは、ウェーハ上のパターンを正確に露出できるフォトレジスト機器です。このシステムは、その高い安定性、精度、および追加の多機能機能によって区別されます。ユニットは、エクスポーザヘッドモジュール、光学マシンモジュール、メカニカルコンポーネントモジュールで構成されています。エクスポーザヘッドモジュールには、2つの独立した対称アライメントアイが含まれています。これらの目はそれぞれ、2umと0。1 umの再現性を備えた正確な自動アライメント機能を備えています。解像度も0。5um〜3umの範囲で調整可能です。さらに、エクスポーザヘッドモジュールには2つのミラーが内蔵されており、ウェハ全体に均一な光の分布を可能にします。光学ツールモジュールは、ウェーハ上のマスクの効率的な照明を可能にするように設計されています。25mm、 50mmなど様々なレンズと組み合わせて使用できるように設計された大径照明光学素材を使用しています。このモデルは、ウェーハ上に均質な光強度を持つ明るいフィールド照明を生成します。さらに、光学機器モジュールには、ローカルガルバノメータスキャナと、ウェハの広い領域を一度にスキャンするための回転ステージが装備されています。メカニカルコンポーネントモジュールは、光学システムモジュールと連携してウェハを正確に配置します。ウェーハの位置を正確に把握するための位置決めガイドと、ウェーハチャックを備えています。さらに、メカニカルコンポーネントモジュールには、アライナーヘッドとウェーハ間の正確な距離を制御するための高さ調整機能が含まれています。DNS 80Aフォトレジストユニットは、パターニングウエハに対する信頼性の高い正確なアプローチを提供します。この機械は安定性が高く、正確さおよび付加的な多機能機能が原因で多くの異なったタイプの適用の条件を満たします。高度な機能と機能を備えたこのツールは、さまざまなウェーハを迅速かつ正確にパターン化するのに最適です。